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拓扑绝缘体Bi2Se3的异质结的制备及其电极接触性能研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9页
第一章 绪论第14-26页
    1.1 自旋电子学第15-16页
    1.2 霍尔效应第16-19页
        1.2.1 量子霍尔效应第17-18页
        1.2.2 量子反常霍尔效应第18-19页
    1.3 拓扑绝缘体第19-24页
        1.3.1 拓扑数第19-20页
        1.3.2 二维拓扑绝缘体第20-21页
        1.3.3 三维拓扑绝缘体第21-23页
        1.3.4 Bi2Se3的研究发展及现状第23-24页
        1.3.5 电极接触特性第24页
    1.4 本论文的研究内容及目的第24-25页
    1.5 论文的具体安排步骤第25-26页
第二章 实验设备和原理第26-33页
    2.1 分子束外延(MBE)第26-30页
        2.1.1 真空泵系统第26-27页
        2.1.2 循环冷却水系统第27页
        2.1.3 液氮第27-28页
        2.1.4 真空样品传输室(Load-Lock)第28页
        2.1.5 超高真空制备腔体第28页
        2.1.6 监测系统第28-29页
        2.1.7 制备控制系统第29页
        2.1.8 不间断电源系统第29-30页
    2.2 X射线衍射仪第30页
    2.3 扫描电子显微镜第30页
    2.4 电子束/热蒸发蒸镀系统第30-31页
    2.5 综合物性测量系统第31页
    2.6 本章小结第31-33页
第三章 拓扑绝缘体Bi_2Se_3及其异质结薄膜的制备第33-45页
    3.1 拓扑绝缘体Bi_2Se_3的制备第33-38页
        3.1.1 实验前期准备过程第33-34页
        3.1.2 Bi_2Se_3薄膜的制备第34-35页
        3.1.3 参数的优化第35-38页
    3.2 掺Mn拓扑绝缘体Bi_2Se_3的制备第38-42页
    3.3 掺Mn拓扑绝缘体Bi_2Se_3异质结薄膜的制备第42-43页
        3.3.1 异质结的基本原理第42页
        3.3.2 异质结的特性第42-43页
        3.3.3 异质结的应用第43页
        3.3.4 拓扑绝缘体Bi_2Se_3异质结薄膜的制备第43页
    3.4 本章小结第43-45页
第四章 电极的蒸镀及接触性质的测试第45-52页
    4.1 利用电子束/热蒸发蒸镀系统蒸镀电极第45-48页
        4.1.1 热蒸发法蒸镀电极第45-46页
        4.1.2 电子束法蒸镀电极第46-48页
    4.2 制备电极引线第48-49页
    4.3 电极与拓扑绝缘体Bi_2Se_3接触特性的测试第49-51页
    4.4 本章小结第51-52页
第五章 Bi_2Se_3及其异质结薄膜的电学性质测试第52-58页
    5.1 拓扑绝缘体Bi_2Se_3及其异质结薄膜的温度电阻比较第52-53页
    5.2 拓扑绝缘体Bi_2Se_3及其异质结薄膜的磁致电阻比较第53-54页
    5.3 拓扑绝缘体Bi_2Se_3及其异质结薄膜的霍尔电阻比较第54-56页
    5.4 本章小结第56-58页
第六章 总结与展望第58-60页
    6.1 工作总结第58页
    6.2 未来展望第58-60页
参考文献第60-64页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第64页

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