系统辨识结合模型预测控制在前馈控制轨迹规划中的应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·选题背景与意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-8页 |
| ·论文结构安排 | 第8-9页 |
| 第二章 直拉法单晶硅生产 | 第9-19页 |
| ·单晶硅产业的现状 | 第9页 |
| ·直拉法的基本介绍 | 第9-11页 |
| ·直拉法的几个重点和难点 | 第11-15页 |
| ·结晶界面 | 第11-13页 |
| ·测量问题 | 第13-14页 |
| ·批处理和时延问题 | 第14页 |
| ·杂质问题 | 第14-15页 |
| ·控制系统要素 | 第15-19页 |
| ·参考轨迹发生器 | 第15-16页 |
| ·前馈控制器 | 第16-17页 |
| ·反馈控制器 | 第17页 |
| ·状态估计 | 第17-19页 |
| 第三章 单晶硅控制过程的数学模型 | 第19-27页 |
| ·直拉单晶炉热场的数学模型 | 第19-23页 |
| ·直拉单晶炉的热场 | 第19-20页 |
| ·简化的直拉单晶硅炉热系统 | 第20-21页 |
| ·单晶硅炉热场的数学模型 | 第21-23页 |
| ·等径数学描述 | 第23-27页 |
| ·影响晶棒直径的因素 | 第23-24页 |
| ·等径控制的数学关系 | 第24-27页 |
| 第四章 系统辨识和模型预测控制的研究 | 第27-35页 |
| ·系统辨识 | 第27-28页 |
| ·模型预测控制 | 第28-30页 |
| ·模型预测控制的提出 | 第28-29页 |
| ·模型预测控制的功能介绍 | 第29-30页 |
| ·基于在线辨识的模型预测函数控制的研究 | 第30-32页 |
| ·特征模型的在线识别 | 第30-31页 |
| ·基于特征模型的预测函数控制 | 第31-32页 |
| ·预测控制算法的实现 | 第32-35页 |
| 第五章 仿真实验 | 第35-44页 |
| ·实验的提出 | 第35-36页 |
| ·实验的理论支持 | 第36-38页 |
| ·实验过程 | 第38-42页 |
| ·数据预处理 | 第38-40页 |
| ·系统辨识 | 第40页 |
| ·模型预测控制 | 第40-42页 |
| ·实验结论 | 第42-43页 |
| ·总结和展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 在学期间研究成果 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
