基于红外法的薄膜厚度测量仪的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·常见薄膜厚度测量方法 | 第9-12页 |
| ·非在线薄膜测厚仪 | 第9-10页 |
| ·在线薄膜测厚仪 | 第10-12页 |
| ·课题国内国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国外研究现状 | 第12页 |
| ·国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·本课题主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 薄膜红外测量系统的硬件设计 | 第15-32页 |
| ·薄膜红外测量系统原理 | 第15-18页 |
| ·红外线简介 | 第15页 |
| ·红外测厚方法 | 第15-18页 |
| ·薄膜生产线流程简介 | 第18-20页 |
| ·硬件总体设计 | 第20-21页 |
| ·硬件各部分设计 | 第21-30页 |
| ·光源和功率计的选型 | 第21-23页 |
| ·执行机构的设计 | 第23-30页 |
| ·串口通信 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 薄膜红外测量系统的软件设计 | 第32-57页 |
| ·软件总体设计 | 第32-33页 |
| ·软件的结构框架设计 | 第33页 |
| ·软件的系统设计 | 第33-35页 |
| ·系统设计思想 | 第33-35页 |
| ·系统设计目标 | 第35页 |
| ·系统运行环境 | 第35页 |
| ·系统的各个模块设计 | 第35-51页 |
| ·标定模块 | 第35-39页 |
| ·参数设置模块 | 第39-41页 |
| ·测量模块 | 第41-45页 |
| ·数据处理模块 | 第45-48页 |
| ·登录模块 | 第48-49页 |
| ·系统维护模块 | 第49-50页 |
| ·打印和打印预览模块 | 第50-51页 |
| ·ADO访问数据库 | 第51-55页 |
| ·Visual C++的数据库开发技术简介 | 第51-54页 |
| ·在Visual C++中使用ADO | 第54-55页 |
| ·串口通信技术 | 第55-56页 |
| ·串口通信技术简介 | 第55-56页 |
| ·在Visual C++中使用串口类 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 实验结果与分析 | 第57-59页 |
| ·实验结果 | 第57页 |
| ·测量多种薄膜厚度 | 第57-58页 |
| ·系统误差分析 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
