| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·MEMS的基本特征 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·论文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 考虑分子力时机电集成静电谐波传动系统的静力学研究 | 第16-42页 |
| ·机电集成静电谐波传动工作原理 | 第16-21页 |
| ·平衡力矩方程 | 第18-19页 |
| ·几何方程 | 第19-20页 |
| ·弹性方程 | 第20-21页 |
| ·静电力和分子力作用下的柔轮位移 | 第21-26页 |
| ·位移求解 | 第22-24页 |
| ·位移和电压关系求解 | 第24-26页 |
| ·考虑静电力和分子力时传动系统的驱动力矩 | 第26-28页 |
| ·结果分析 | 第28-40页 |
| ·分子力对位移和电压关系的影响分析 | 第28-33页 |
| ·分子力对驱动力矩的影响规律 | 第33-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 分子力影响下柔轮机电耦合动力学分析 | 第42-84页 |
| ·动态求解 | 第42-48页 |
| ·模态函数的求解 | 第42-46页 |
| ·固有频率的求解 | 第46-48页 |
| ·受迫振动分析 | 第48-52页 |
| ·受迫振动 | 第48-51页 |
| ·共振分析 | 第51-52页 |
| ·结果分析 | 第52-83页 |
| ·模态分析 | 第52-61页 |
| ·受迫振动 | 第61-74页 |
| ·共振及其影响因素分析 | 第74-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第4章 分子力影响下机电集成静电谐波传动非线性动力学分析 | 第84-112页 |
| ·弱非线性系统的自由振动 | 第84-93页 |
| ·远离共振的受迫振动 | 第93-95页 |
| ·接近共振的受迫振动 | 第95-98页 |
| ·结果分析 | 第98-110页 |
| ·弱非线性系统的自由振动 | 第98-106页 |
| ·接近共振的受迫振动 | 第106-110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 第5章 机电集成静电谐波传动的动力学仿真 | 第112-119页 |
| ·建模软件简介 | 第112-113页 |
| ·动力学仿真 | 第113-118页 |
| ·静态仿真 | 第113-116页 |
| ·动态仿真 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 结论 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-124页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 作者简介 | 第126页 |