机电集成静电谐波传动偏心分析及控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·MEMS 的发展及研究现状 | 第9-13页 |
| ·MEMS 发展历史 | 第9-10页 |
| ·MEMS 发展现状与前景 | 第10-13页 |
| ·谐波传动的发展及研究现状 | 第13-14页 |
| ·论文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 偏心微柔轮机电耦合静力学分析 | 第16-38页 |
| ·电场力的计算 | 第16-18页 |
| ·柔轮的力学平衡方程 | 第18-22页 |
| ·动力学方程 | 第19-20页 |
| ·几何方程 | 第20-21页 |
| ·弹性方程 | 第21-22页 |
| ·柔轮径向位移求解 | 第22-24页 |
| ·位移与电压关系求解 | 第24-27页 |
| ·结果分析 | 第27-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 偏心静电谐波传动系统驱动力矩分析 | 第38-47页 |
| ·静电谐波传动系统的工作原理 | 第38-39页 |
| ·驱动力矩分析 | 第39-46页 |
| ·扭矩求解 | 第39-41页 |
| ·结果分析 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 偏心静电谐波传动系统振动分析 | 第47-74页 |
| ·自由振动分析 | 第47-64页 |
| ·自由振动方程 | 第47-50页 |
| ·固有频率求解 | 第50-53页 |
| ·结果分析 | 第53-64页 |
| ·受迫振动分析 | 第64-73页 |
| ·模态叠加法 | 第64-67页 |
| ·结果分析 | 第67-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第5章 柔轮偏心PID 控制 | 第74-84页 |
| ·柔轮偏心PID 控制系统建模 | 第74-77页 |
| ·偏心调节PID 控制器设计 | 第77-79页 |
| ·传递函数求解 | 第77-78页 |
| ·PID 闭环控制模型 | 第78-79页 |
| ·仿真分析 | 第79-83页 |
| ·仿真技术及Simulink 仿真 | 第79-80页 |
| ·仿真模型的建立 | 第80页 |
| ·仿真结果 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 作者简介 | 第92页 |
