FTO薄膜热处理过程中的表面演化及性能的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-28页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·低辐射玻璃的节能原理 | 第10-12页 |
| ·低辐射玻璃的性能评价参数 | 第12-14页 |
| ·低辐射玻璃的功能特点及应用 | 第14-15页 |
| ·低辐射镀膜玻璃的分类 | 第15-19页 |
| ·电介质/金属/电介质多层复合低辐射膜 | 第16-17页 |
| ·半导体单层低辐射膜 | 第17-19页 |
| ·Sn0_2 薄膜的制备方法 | 第19-24页 |
| ·化学气相沉积法~([33]) | 第20页 |
| ·磁控溅射法 | 第20-21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| ·喷涂法 | 第22-23页 |
| ·在线低辐射玻璃镀膜技术 | 第23-24页 |
| ·低辐射玻璃的钢化加工 | 第24-25页 |
| ·Sn0_2 薄膜国内外研究现状 | 第25-27页 |
| ·本论文研究主要内容及意义 | 第27-28页 |
| 第2章 实验过程及方法 | 第28-34页 |
| ·实验样品的制备 | 第28-30页 |
| ·FTO低辐射玻璃的制备 | 第28-30页 |
| ·FTO玻璃的热处理条件 | 第30页 |
| ·测试方法 | 第30-33页 |
| ·X 射线衍射（XRD）分析 | 第30-33页 |
| ·FTO薄膜拉曼光谱的测定 | 第30-31页 |
| ·FTO薄膜形貌的观察 | 第31页 |
| ·FTO薄膜厚度的测量 | 第31页 |
| ·FTO薄膜电学性能的测试 | 第31-32页 |
| ·FTO薄膜紫外-可见光透射率和反射率的测试 | 第32页 |
| ·FTO薄膜中远红外吸收谱的测定 | 第32页 |
| ·FTO薄膜残余应力的测试 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 结果与讨论 | 第34-58页 |
| ·FTO薄膜热处理前后的XRD分析 | 第34-36页 |
| ·FTO薄膜拉曼光谱分析 | 第36-38页 |
| ·热处理温度对FTO薄膜形貌的影响 | 第38-43页 |
| ·场发射扫描电镜下FTO薄膜形貌的观察 | 第38-40页 |
| ·原子力显微镜下FTO薄膜形貌的观察 | 第40-43页 |
| ·热处理温度对FTO薄膜厚度的影响 | 第43-44页 |
| ·热处理温度对FTO薄膜电学性能的影响 | 第44-48页 |
| ·热处理温度对FTO薄膜光学性能的影响 | 第48-52页 |
| ·FTO薄膜在可见光波段的光学性能 | 第48-50页 |
| ·FTO薄膜在中远红外吸收谱的分析 | 第50-52页 |
| ·热处理温度对FTO薄膜中残余应力的影响 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
