高精密设备平台微振动混合控制理论研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题来源及背景 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第12-17页 |
| ·国内外研究概况 | 第12-14页 |
| ·主动振动控制中作动器的发展现状 | 第14-16页 |
| ·主动振动控制中控制技术的发展现状 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第17-18页 |
| ·本文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 平台隔振系统设计及动力学分析 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·典型的高科技厂房模型 | 第20-22页 |
| ·高精密设备平台模型 | 第22-25页 |
| ·高精密设备平台模型概述 | 第22-23页 |
| ·超磁致伸缩作动器 | 第23-24页 |
| ·空气弹簧 | 第24-25页 |
| ·高精密设备隔振平台动力学分析 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 高精密设备平台振动传递率分析 | 第31-46页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·振动传递率的基本概念 | 第31-32页 |
| ·仅在基础干扰作用下的振动传递率 | 第32-36页 |
| ·被动隔振系统的振动传递率 | 第32-33页 |
| ·主动隔振系统的振动传递率 | 第33-36页 |
| ·基础干扰与直接干扰同时作用下的振动传递率 | 第36-44页 |
| ·被动隔振系统的振动传递率 | 第36-39页 |
| ·主动隔振系统的振动传递率 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 平台微振动主动控制算法仿真研究 | 第46-69页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·LQG 控制算法及其MATLAB 仿真 | 第46-54页 |
| ·LQG 控制的基本概念 | 第46-47页 |
| ·系统动力学方程的状态空间描述 | 第47-49页 |
| ·LQG 控制器的设计 | 第49-50页 |
| ·LQG 控制的MATLAB 仿真 | 第50-54页 |
| ·模糊控制算法及其MATLAB 仿真 | 第54-61页 |
| ·模糊控制的基本概念 | 第54-55页 |
| ·双输入单输出的模糊控制器设计 | 第55-57页 |
| ·模糊控制的MATLAB 仿真 | 第57-61页 |
| ·神经网络控制算法及其MATLAB 仿真 | 第61-67页 |
| ·神经网络的基本概念 | 第61页 |
| ·误差反向传播网络设计 | 第61-63页 |
| ·神经网络控制的MATLAB 仿真 | 第63-67页 |
| ·主动控制算法比较分析 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
