| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-20页 |
| ·磁传感器 | 第7-11页 |
| ·磁传感器的概念及应用 | 第7页 |
| ·磁传感器的种类和发展方向 | 第7-11页 |
| ·霍尔传感器的研究现状与发展趋势 | 第11-19页 |
| ·矩形霍尔元件 | 第11-12页 |
| ·双极型霍尔元件 | 第12页 |
| ·MOS 型霍尔元件 | 第12-13页 |
| ·CMOS 垂直霍尔元件 | 第13页 |
| ·结型场效应管霍尔元件 | 第13-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的工作原理 | 第20-33页 |
| ·霍尔元件 | 第20-23页 |
| ·P 沟道 MOSFET 的工作原理 | 第23-25页 |
| ·悬臂梁 MOSFET 霍尔磁传感器的结构和工作原理 | 第25-27页 |
| ·MOSFET 霍尔磁传感器的不等位电势及补偿 | 第27-28页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的电磁特性 | 第28页 |
| ·V_H-B 关系 | 第28页 |
| ·V_H-I 关系 | 第28页 |
| ·MOSFET 霍尔传感器霍尔输出电压的温度特性 | 第28-31页 |
| ·温度分析 | 第28-29页 |
| ·温度补偿 | 第29-31页 |
| ·MOSFET 霍尔传感器霍尔输出电压的灵敏度特性 | 第31-32页 |
| ·绝对灵敏度 | 第32页 |
| ·相对灵敏度 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的结构设计 | 第33-43页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的结构 | 第33页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的设计要点 | 第33-35页 |
| ·霍尔输出极位置 | 第33-34页 |
| ·霍尔元件长宽比的确定 | 第34-35页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器光刻版图的设计 | 第35页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的工艺模拟 | 第35-39页 |
| ·IntelliSuite 模拟软件体系介绍 | 第35-37页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的工艺模拟 | 第37-39页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的接口放大电路 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的制作工艺 | 第43-57页 |
| ·研制悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的关键工艺 | 第43-51页 |
| ·硅片清洗 | 第43页 |
| ·氧化工艺 | 第43-45页 |
| ·光刻工艺 | 第45-46页 |
| ·离子注入工艺 | 第46-48页 |
| ·低压化学气相淀积工艺 | 第48-49页 |
| ·感应耦合等离子体（ICP）刻蚀技术 | 第49-51页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的制作工艺流程 | 第51-55页 |
| ·制作过程中存在的问题 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器特性测试 | 第57-68页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的特性测试与讨论 | 第57-58页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的实验结果 | 第58-60页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的静态特性及计算 | 第60-65页 |
| ·线性度 | 第60-63页 |
| ·迟滞 | 第63页 |
| ·重复性 | 第63-64页 |
| ·灵敏度 | 第64-65页 |
| ·传感器的综合精度 | 第65页 |
| ·悬臂梁MOSFET 霍尔磁传感器的温度特性 | 第65-66页 |
| ·悬臂梁的振动频率与霍尔输出电压的关系 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
