| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·气体传感器的分类与应用 | 第8-9页 |
| ·气体传感器研究现状 | 第9-13页 |
| ·气体传感器气敏机理 | 第13-16页 |
| ·纳米技术及其在金属氧化物半导体气体传感器中应用 | 第16-23页 |
| ·本论文的研究内容和目的 | 第23-24页 |
| 2 化学气相沉积法制备氧化锡自组装纳米结构 | 第24-34页 |
| ·实验部分 | 第25-27页 |
| ·结果和讨论 | 第27-33页 |
| ·结论 | 第33-34页 |
| 3 纳米二氧化锡气敏性能研究 | 第34-48页 |
| ·实验部分 | 第34-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-46页 |
| ·性能评估小结 | 第46-48页 |
| 4 结论与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-62页 |
| 附录:攻读硕士学位期间完成的主要工作 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |