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La1-xCaxMnO3-Ag薄膜制备工艺及性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 前言第9-18页
   ·概念与内涵第9-12页
   ·La_(1-x)Ca_xMnO_3薄膜的研究现状及所面临的挑战第12-14页
   ·La_(1-x)Ca_xMnO_3薄膜的应用第14-16页
     ·CMR效应的应用第14-15页
     ·TR效应在红外探测领域的应用第15-16页
     ·CMR、TR效应的综合应用第16页
   ·本论文研究思路与研究内容第16-18页
第二章 理论基础第18-23页
   ·双交换(Double exchange)机制第18-21页
   ·Jahn-Teller效应第21-23页
第三章 LCMO-Ag靶材的制备第23-29页
   ·靶材的制备第23-24页
   ·实验结果与讨论第24-29页
     ·LCMO-Ag热重(TG)—差热(DSC)分析第24-25页
     ·烧结工艺及银掺杂对LCMO-Ag靶材微结构的影响第25-29页
第四章 LCMO-Ag薄膜制备及性能研究第29-45页
   ·射频磁控溅射基本原理第29-32页
     ·基本原理第29-31页
     ·射频磁控溅射的技术优势第31-32页
   ·制备工艺对LCMO-Ag薄膜电阻率-温度性能的影响第32-45页
     ·沉积温度对LCMO-Ag薄膜电阻率-温度特性的影响第32-34页
     ·氧氩比对LCMO-Ag薄膜电阻率-温度特性的影响第34-37页
     ·溅射气压对LCMO-Ag薄膜电阻率-温度特性的影响第37-40页
     ·溅射功率对LCMO-Ag薄膜电阻率-温度特性的影响第40-45页
第五章 结论第45-46页
工作展望第46-47页
致谢第47-48页
参考文献第48-52页
在硕士期间录用的学术论文第52页

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