| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-25页 |
| ·红外传感器简介 | 第9-10页 |
| ·热电堆探测器与MEMS技术 | 第10-18页 |
| ·热电堆探测器 | 第11-12页 |
| ·MEMS技术 | 第12-13页 |
| ·MEMS热电堆探测器的结构组成和原理 | 第13-16页 |
| ·MEMS热电堆红外探测器的发展现状 | 第16-18页 |
| ·单片集成MEMS红外传感器的发展 | 第18-24页 |
| ·集成红外传感器件 | 第18-21页 |
| ·片上信号读出电路 | 第21-24页 |
| ·论文主要内容 | 第24-25页 |
| 第二章 与CMOS工艺兼容的热电堆及其读出电路设计和模拟 | 第25-55页 |
| ·热电堆红外探测单元设计 | 第26-31页 |
| ·结构设计 | 第26-28页 |
| ·热电堆红外探测单元数值模型和ANSYS模拟 | 第28-31页 |
| ·Post CMOS工艺 | 第31页 |
| ·片上读出电路系统设计和模拟 | 第31-53页 |
| ·主偏置模块 | 第31-35页 |
| ·前置放大器 | 第35-39页 |
| ·后置放大器 | 第39-42页 |
| ·带通滤波器 | 第42-46页 |
| ·振荡器 | 第46-49页 |
| ·调制解调 | 第49页 |
| ·电路整体模拟 | 第49-53页 |
| ·版图设计 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 流片结果和电路测试 | 第55-63页 |
| ·传感器单元释放 | 第55-56页 |
| ·电路系统测试 | 第56-62页 |
| ·主偏置模块 | 第56页 |
| ·振荡器模块 | 第56-57页 |
| ·放大器/滤波器 | 第57-58页 |
| ·振荡器失效分析 | 第58-60页 |
| ·斩波系统整体测试 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第69页 |
| 个人简历 | 第69-70页 |