| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·驱动方式 | 第9-11页 |
| ·运动结构形式 | 第11-13页 |
| ·导轨支承形式 | 第13-14页 |
| ·存在的问题和发展方向 | 第14页 |
| ·课题的提出和本文主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 静压气浮导轨的静态特性计算 | 第15-30页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·静压气浮导轨的结构及工作原理 | 第15-18页 |
| ·气体润滑技术 | 第15-16页 |
| ·典型节流器形式 | 第16-17页 |
| ·静压气浮导轨的工作原理 | 第17-18页 |
| ·静压气浮导轨的静态承载能力、刚度和耗气量 | 第18-26页 |
| ·气体在节流孔中的流动 | 第18-21页 |
| ·气浮导轨润滑间隙中的压力分布情况 | 第21-25页 |
| ·静压气浮导轨的静态承载能力和刚度 | 第25-26页 |
| ·耗气量 | 第26页 |
| ·计算实例及仿真 | 第26-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于音圈电机的高速精密气浮定位平台的结构设计 | 第30-41页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·音圈电机的基本原理 | 第30-31页 |
| ·气浮两自由度精密定位平台的结构设计 | 第31-38页 |
| ·平台总体结构设计 | 第31-33页 |
| ·气浮导轨的结构设计 | 第33-35页 |
| ·节流孔孔径和气膜厚度的设计及承载能力校核 | 第35-38页 |
| ·高速精密气浮平台装配图及零件图的绘制 | 第38页 |
| ·小结 | 第38-41页 |
| 第四章 结论 | 第41-42页 |
| ·全文主要结论 | 第41页 |
| ·后续工作展望 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |