| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·压力传感器的应用 | 第10页 |
| ·硅微型压力传感器的进展 | 第10-26页 |
| ·压力传感器的工作方式 | 第10-11页 |
| ·压阻式压力传感器 | 第11-13页 |
| ·电容式压力传感器 | 第13-17页 |
| ·热型压力传感器 | 第17-18页 |
| ·静电力平衡压力传感器 | 第18-20页 |
| ·真空微电子压力传感器及谐振式压力传感器 | 第20-21页 |
| ·集成压力传感器 | 第21-22页 |
| ·综合评述与总结 | 第22-24页 |
| ·压力传感器的设计指标 | 第24-26页 |
| ·本论文主要工作 | 第26-27页 |
| 第二章 多层膜结构电容式压力传感器的分析和设计 | 第27-48页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·弹性电介质材料的电致伸缩增强效应 | 第27-28页 |
| ·多层膜结构电容式压力传感器结构描述 | 第28-29页 |
| ·传感器基本原理及模型 | 第29-30页 |
| ·传感器结构的理论分析 | 第30-42页 |
| ·膜的能量理论 | 第30-31页 |
| ·周边固支平板矩形膜负载－形变模型 | 第31-37页 |
| ·多层膜结构的机械、热分析模型 | 第37-40页 |
| ·传感器灵敏度、温度系数分析 | 第40-42页 |
| ·有限元模型及传感器的设计 | 第42-47页 |
| ·材料参数 | 第42页 |
| ·传感器热翘曲和热应变的分析 | 第42-43页 |
| ·传感器膜的负载－形变分析和模拟 | 第43-46页 |
| ·传感器膜的设计 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第三章 传感器CMOS接口电路的设计 | 第48-68页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·微电容检测电路的类型 | 第48-49页 |
| ·开关电容电路原理 | 第49-50页 |
| ·相关双采样技术(CDS) | 第50-51页 |
| ·电容－电压转换电路的分析和设计 | 第51-62页 |
| ·差分输入方式 | 第51-52页 |
| ·电路体系结构 | 第52-55页 |
| ·电路结构 | 第55-58页 |
| ·电路设计分析 | 第58-62页 |
| ·设计举例 | 第62-64页 |
| ·其它设计考虑 | 第64-66页 |
| ·CMOS 电路的测试和分析 | 第66-67页 |
| ·单管特性测试 | 第66页 |
| ·两相不重叠时钟电路 | 第66页 |
| ·Buffer 放大器的输入输出特性测试 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第四章 传感器的加工和测试 | 第68-86页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·材料特性 | 第68-69页 |
| ·多层膜结构压力传感器的表面牺牲层工艺加工 | 第69-72页 |
| ·加工结构 | 第70页 |
| ·加工工艺步骤 | 第70-71页 |
| ·加工结果 | 第71-72页 |
| ·多层膜压力传感器的SOG 工艺加工 | 第72-78页 |
| ·硅的浓硼掺杂 | 第72-73页 |
| ·硅的浓硼重掺杂自停止腐蚀 | 第73页 |
| ·硅－玻璃阳极键合 | 第73-74页 |
| ·加工工艺 | 第74-76页 |
| ·加工结果 | 第76-77页 |
| ·传感器的封装 | 第77-78页 |
| ·压力传感器的测试和分析 | 第78-84页 |
| ·测试系统 | 第78页 |
| ·表面牺牲层工艺加工的压力传感器的测试 | 第78-79页 |
| ·SOG 工艺加工的P~(++)/SiO_2/Si_3N_4/Au 结构压力传感器的测试 | 第79-82页 |
| ·SOG 工艺加工的P~(++)/SiO_2/Au 结构压力传感器的测试 | 第82-83页 |
| ·测试结果讨论以及弹电效应系数的确定 | 第83-84页 |
| ·小结 | 第84-86页 |
| 第五章 CMOS工艺兼容电容式压力传感器设计与初步加工 | 第86-98页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·传感器的集成技术 | 第86-87页 |
| ·电容式压力传感器的集成方式 | 第87-91页 |
| ·CMOS 工艺与表面牺牲层加工工艺相结合的集成 | 第87-91页 |
| ·CMOS 工艺与体硅微机械加工以及硅－玻璃阳极键合相结合的集成 | 第91页 |
| ·CMOS 全兼容多层膜结构压力传感器的加工 | 第91-97页 |
| ·小结 | 第97-98页 |
| 第六章 总结与工作展望 | 第98-100页 |
| ·结论 | 第98-99页 |
| ·工作展望 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-109页 |
| 图表索引 | 第109-113页 |
| 攻读博士期间发表论文与专利目录 | 第113页 |
