| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·光纤Fabry-Perot传感器概述 | 第8-9页 |
| ·非本征Fabry—Perot光纤传感器的应用背景 | 第9-10页 |
| ·膜片式微型EFPI光纤压力传感器简介 | 第10-13页 |
| ·生物医学上的应用 | 第10-11页 |
| ·工业上的应用 | 第11-12页 |
| ·微型光纤传感器的制作技术 | 第12-13页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第13页 |
| ·论文的结构 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-15页 |
| 2 EFPI光纤传感器的原理 | 第15-28页 |
| ·Fabry-Perot干涉原理 | 第15-19页 |
| ·光纤Fabry-Perot传感器的典型结构 | 第19-23页 |
| ·IFPI光纤传感器 | 第19-21页 |
| ·EFPI光纤传感器 | 第21-22页 |
| ·其它类型光纤Fabry-Perot传感器 | 第22-23页 |
| ·信号处理方法 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 微型EFPI光纤压力传感头的原理与制作 | 第28-38页 |
| ·膜片式压力传感器的原理 | 第28-33页 |
| ·膜片的压力敏感原理 | 第28-29页 |
| ·传感头的尺寸参数设计 | 第29-32页 |
| ·传感头的材料选择 | 第32-33页 |
| ·传感头的制作工艺 | 第33-37页 |
| ·法—珀腔的制作 | 第33-34页 |
| ·薄膜的制作 | 第34-36页 |
| ·腐蚀薄膜法 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 实验结果与分析 | 第38-44页 |
| ·实验仪器介绍 | 第38-39页 |
| ·压力测量的定标实验 | 第39-41页 |
| ·温度敏感的实验研究 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第51页 |