激光诱导液相腐蚀关键技术研究
| 第一章 引言 | 第1-16页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·国内外激光化学领域的研究动态 | 第11-14页 |
| ·本文的主要研究体系 | 第14-16页 |
| 第二章 基本理论分析 | 第16-25页 |
| ·光化学基本概念 | 第16-17页 |
| ·光化学定律 | 第17-19页 |
| ·原子对光的吸收 | 第19-20页 |
| ·分子对光的吸收 | 第20页 |
| ·溶液中的光化学 | 第20-21页 |
| ·离子型物质的光化学 | 第21-23页 |
| ·半导体工艺中的激光化学 | 第23-24页 |
| ·GAAS的腐蚀特性 | 第24-25页 |
| 第三章 激光诱导液相抗蚀膜掩蔽腐蚀法 | 第25-30页 |
| ·抗蚀膜掩蔽法 | 第25-26页 |
| ·实验结果及讨论 | 第26-30页 |
| 第四章 激光诱导液相次序选择腐蚀法 | 第30-35页 |
| ·次序选择腐蚀法 | 第30-32页 |
| ·实验结果及讨论 | 第32-35页 |
| 第五章 激光化学诱导液相电极腐蚀法 | 第35-39页 |
| ·电极腐蚀法 | 第35-37页 |
| ·实验结果及讨论 | 第37-39页 |
| 第六章 化学试剂及其腐蚀特性在激光环境中的变化 | 第39-47页 |
| ·激光化学腐蚀电流监测实验装置及其理论分析 | 第39-40页 |
| ·实验结果及讨论 | 第40-47页 |
| 第七章 激光化学腐蚀进程的红外热像监测法 | 第47-57页 |
| ·基本原理及其实验方法 | 第47-49页 |
| ·实验结果与分析讨论 | 第49-57页 |
| 第八章 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 个人简历 | 第66页 |
