测热式和风速计一体化传感器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-33页 |
| ·MEMS相关技术介绍 | 第9-11页 |
| ·MEMS的发展 | 第9-10页 |
| ·MEMS系统的特征 | 第10-11页 |
| ·微型流量传感器概述 | 第11-30页 |
| ·流量测量方法 | 第11-19页 |
| ·微型流量传感器发展简史 | 第19-30页 |
| ·课题研究的目的,意义和需要解决的问题 | 第30-33页 |
| ·课题研究的目的以及意义 | 第30-31页 |
| ·课题需要解决的问题 | 第31-33页 |
| 第二章 测热式／风速计一体化流量测量方法 | 第33-46页 |
| ·测热式／风速计一体化热式流量测量方法原理 | 第33-35页 |
| ·测量方法的理论分析 | 第35-38页 |
| ·测量方法的仿真与讨论 | 第38-46页 |
| 第三章 改进型空腔结构的硅基热式气体流量传感器 | 第46-64页 |
| ·传统微型热式流量传感器结构以及存在的问题 | 第46-48页 |
| ·空腔式硅制热式传感器结构设计 | 第48-53页 |
| ·测温金属材料的选择 | 第49-53页 |
| ·薄膜电阻厚度选择 | 第53-58页 |
| ·电气特性的讨论 | 第53-54页 |
| ·剥离工艺的实验研究 | 第54-58页 |
| ·聚酰亚胺—横膈膜材料的选取 | 第58-61页 |
| ·厚胶工艺的实验研究 | 第58-60页 |
| ·聚酰亚胺作为钝化层的光刻实验 | 第60-61页 |
| ·传感器工艺流程 | 第61-62页 |
| ·总结 | 第62-64页 |
| 第四章 实心结构的非硅热式气体流量传感器 | 第64-97页 |
| ·实心结构设计 | 第64-65页 |
| ·衬底导热的仿真与讨论 | 第65-68页 |
| ·工艺制程 | 第68-79页 |
| ·玻璃衬底上的剥离工艺研究 | 第68-72页 |
| ·玻璃衬底上的金属互连—Al薄膜工艺探讨 | 第72-76页 |
| ·以玻璃为衬底的聚酰亚胺钝化层工艺研究 | 第76-78页 |
| ·传感器工艺流程融合 | 第78-79页 |
| ·传感器封装设计及制程 | 第79-87页 |
| ·实验与讨论 | 第87-97页 |
| ·几种测量原理的简述 | 第87-88页 |
| ·定性实验与讨论 | 第88-90页 |
| ·标定实验与讨论 | 第90-96页 |
| ·结论 | 第96-97页 |
| 第五章 基于CMOS工艺的微型热式气体流量传感器 | 第97-110页 |
| ·基于CMOS工艺的传感器的优点 | 第97页 |
| ·CMOS工艺简介 | 第97-100页 |
| ·现有的基于CMOS工艺的微型热式流量传感器 | 第100页 |
| ·传感器设计 | 第100-110页 |
| ·传感器结构设计 | 第100-102页 |
| ·热电堆设计 | 第102-104页 |
| ·工艺流程设计 | 第104-109页 |
| ·实验与讨论 | 第109-110页 |
| 第六章 总结与展望 | 第110-112页 |
| ·总结 | 第110-111页 |
| ·展望 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 攻读硕士期间发表及录用的学术论文 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118页 |
