摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
1 绪论 | 第7-10页 |
·传统的晶片缺陷检测技术概述以及优缺点分析 | 第7-8页 |
·基于数字图像处理的水晶晶片缺陷检测方法 | 第8页 |
·本文主要工作介绍及一点心得 | 第8-10页 |
2 晶片缺陷检测系统各部分的选择和设计 | 第10-19页 |
·摄像机的选择 | 第10-11页 |
·光源的选择和设计过程 | 第11-15页 |
·光源的选择 | 第11-12页 |
·照明方案设计原则 | 第12-14页 |
·光源的最终确定方案 | 第14-15页 |
·软件触发部分 | 第15-16页 |
·图像处理与模式识别 | 第16页 |
·软件构架的设计理由 | 第16-17页 |
·系统工作原理以及流程图 | 第17-18页 |
·本章小结、个人心得 | 第18-19页 |
3 基于Visual C++6.0的图像预处理 | 第19-35页 |
·Visual C++6.0集成开发环境(IDE)简介 | 第19页 |
·构建自己的DIB文件库 | 第19-20页 |
·BitBlt()系统函数法转24位真彩色位图为8位灰度图 | 第20-21页 |
·空间域的图像平滑滤波 | 第21-26页 |
·噪声消除法 | 第22-23页 |
·模板平滑 | 第23-24页 |
·改进的中值滤波 | 第24-26页 |
·去噪声方法对比、小结 | 第26页 |
·常用的边缘检测算子 | 第26-31页 |
·Roberts边缘检测 | 第27页 |
·Sobel边缘检测 | 第27页 |
·Prewitt边缘检测 | 第27-28页 |
·Kirsch边缘检测 | 第28页 |
·高斯—拉普拉斯算子 | 第28-29页 |
·梯度边缘检测和改进的梯度边缘检测 | 第29-31页 |
·各种边缘检测的效果比较、小结 | 第31页 |
·图像二值化 | 第31-35页 |
·简单二值化 | 第32页 |
·大津法二值化 | 第32页 |
·自动阈值分割 | 第32-34页 |
·局部阈值分割 | 第34-35页 |
4 缺角的精确检测和模式识别 | 第35-56页 |
·缺角的检测方法 | 第35-41页 |
·Hough变换求角度 | 第36-39页 |
·改进的Hough变换求角度以及Hough变换定义上的缺陷 | 第39-41页 |
·利用模板匹配法精确求旋转角度 | 第41-44页 |
·角度的求取方法小结 | 第44页 |
·图像旋转和模板匹配 | 第44-51页 |
·模板匹配预处理 | 第45-47页 |
·模板匹配、SSDA快速序列算法的实现与优化 | 第47-51页 |
·模板匹配小结 | 第51-52页 |
·差影检测精确求缺角 | 第52-56页 |
5 裂纹、污垢的检测方法 | 第56-66页 |
·裂纹检测、递归算法 | 第57-61页 |
·局部阈值分割在裂纹检测中的应用 | 第61-63页 |
·裂纹检测小结 | 第63-64页 |
·污垢的检测 | 第64-66页 |
结论 | 第66-67页 |
致谢 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-69页 |