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过氧化物体系可循环再生型微蚀液的研究

中文摘要第1-5页
Abstract第5-10页
1 绪言第10-26页
   ·引言第10-11页
   ·清洁生产与循环经济第11-13页
     ·清洁生产与循环经济介绍第11-12页
     ·PCB行业实施清洁生产与循环经济的必要性第12页
     ·PCB行业清洁生产技术发展方向第12-13页
   ·微蚀体系研究进展第13-18页
     ·微蚀剂介绍第13页
     ·过硫酸盐体系微蚀液的研究进展第13-15页
     ·过氧化氢体系微蚀液的研究进展第15-16页
     ·过氧化氢稳定剂的研究第16-18页
   ·微蚀液清洁生产方案:铜回收、溶液再生和循环使用第18-23页
     ·微蚀过程污染状况第18-19页
     ·含铜微蚀废液处理技术介绍第19-23页
     ·溶液再生与循环利用第23页
   ·研究内容与意义第23-24页
     ·论文研究内容第23-24页
     ·论文研究意义第24页
   ·本研究的创新点第24-26页
2 研究方法第26-33页
   ·研究技术路线第26-27页
     ·过氧化物微蚀体系研究路线第26页
     ·微蚀废液再生技术路线第26-27页
   ·实验设计第27-28页
     ·微蚀工艺研究第27页
     ·微蚀废液中铜回收与再生利用第27-28页
   ·实验材料与设备第28-29页
     ·实验仪器与设备第28页
     ·实验材料与试剂第28-29页
   ·研究方法第29-33页
     ·微蚀工艺研究方法第29页
     ·微蚀废液中铜回收与再生利用研究方法第29-30页
     ·分析检测方法第30-33页
3 实验结果与分析第33-47页
   ·过硫酸盐体系微蚀性能的研究第33-36页
     ·温度对微蚀速率的影响第33页
     ·过硫酸钠浓度对微蚀速率的影响第33-34页
     ·铜离子浓度对微蚀速率的影响第34-35页
     ·硫酸浓度对微蚀速率的影响第35-36页
     ·过硫酸钠体系微蚀效果分析第36页
     ·小结第36页
   ·过氧化氢体系微蚀性能的研究第36-42页
     ·温度对微蚀速率的影响第36-37页
     ·过氧化氢浓度对微蚀速率的影响第37-38页
     ·铜离子浓度对微蚀速率的影响第38-39页
     ·硫酸浓度对微蚀速率的影响第39页
     ·稳定剂对微蚀速率影响第39-41页
     ·稳定剂加入量的研究第41页
     ·过氧化氢微蚀体系微蚀效果研究第41-42页
     ·小结第42页
   ·微蚀废液中铜回收工艺的研究第42-45页
     ·电解时间对电流效率与铜沉积形态的影响第42-43页
     ·电流密度对电流效率与铜沉积形态的影响第43-44页
     ·铜离子浓度对电流效率的影响第44页
     ·温度对电流效率的影响第44页
     ·小结第44-45页
   ·微蚀废液回用研究第45-47页
     ·过氧化氢体系微蚀废液成分测定第45页
     ·过氧化氢体系微蚀废液回用研究第45页
     ·过硫酸钠体系微蚀废液成分测定第45-46页
     ·过硫酸钠体系微蚀废液回用研究第46页
     ·小结第46-47页
4 结论第47-48页
参考文献第48-53页
致谢第53-54页
附录第54页

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