| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 低辐射镀膜玻璃简介 | 第13-20页 |
| 1.2.1 低辐射玻璃的节能原理及理论公式 | 第13-16页 |
| 1.2.2 SnO_2系透明导电薄膜 | 第16-18页 |
| 1.2.3 TiO_2系透明导电薄膜 | 第18页 |
| 1.2.4 ZnO系透明导电薄膜 | 第18-20页 |
| 1.3 易洁镀膜玻璃简介 | 第20-21页 |
| 1.4 氧化物薄膜制备技术简介 | 第21-23页 |
| 1.5 研究思路与内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验部分 | 第25-33页 |
| 2.1 实验原料 | 第25页 |
| 2.2 实验装置 | 第25-27页 |
| 2.3 样品制备 | 第27-28页 |
| 2.3.1 基板清洗 | 第27-28页 |
| 2.3.2 薄膜制备 | 第28页 |
| 2.4 样品表征 | 第28-33页 |
| 2.4.1 结构表征 | 第28-29页 |
| 2.4.2 形貌表征 | 第29-30页 |
| 2.4.3 组分表征 | 第30页 |
| 2.4.4 光学表征 | 第30-32页 |
| 2.4.5 亲水性表征 | 第32页 |
| 2.4.6 电学性能表征 | 第32-33页 |
| 第三章 FTO薄膜的AACVD法制备、结构与性能的研究 | 第33-67页 |
| 3.1 前驱体溶剂对SnO_2薄膜结构与性能的影响 | 第33-45页 |
| 3.1.1 前驱体溶液的红外光谱分析 | 第33-37页 |
| 3.1.2 前驱体溶剂对SnO_2薄膜结构形貌的影响 | 第37-40页 |
| 3.1.3 前驱体溶剂对SnO_2薄膜光学性能的影响 | 第40-44页 |
| 3.1.4 前驱体溶剂对SnO_2系透明导电薄膜电学性能的影响 | 第44-45页 |
| 3.2 沉积温度对SnO_2薄膜结构与性能的影响 | 第45-52页 |
| 3.2.1 沉积温度对SnO_2薄膜结构形貌的影响 | 第46-49页 |
| 3.2.2 沉积温度对SnO_2薄膜光学性能的影响 | 第49-51页 |
| 3.2.3 沉积温度对SnO_2薄膜电学性能的影响 | 第51-52页 |
| 3.3 沉积时间对SnO_2薄膜结构与性能的影响 | 第52-58页 |
| 3.3.1 沉积时间对SnO_2薄膜结构形貌的影响 | 第52-54页 |
| 3.3.2 沉积时间对SnO_2薄膜光学性能的影响 | 第54-57页 |
| 3.3.3 沉积时间对SnO_2薄膜电学性能的影响 | 第57-58页 |
| 3.4 F掺杂浓度对SnO_2薄膜结构与性能的影响 | 第58-66页 |
| 3.4.1 前驱体溶液的红外光谱分析 | 第59-60页 |
| 3.4.2 F掺杂浓度对SnO_2薄膜结构形貌的影响 | 第60-62页 |
| 3.4.3 F掺杂浓度对SnO_2薄膜光学性能的影响 | 第62-65页 |
| 3.4.4 F掺杂浓度对SnO_2薄膜电学性能的影响 | 第65-66页 |
| 3.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 基于椭圆偏振光谱法的FTO薄膜本构关系研究 | 第67-91页 |
| 4.1 椭圆偏振光谱法介绍 | 第67-73页 |
| 4.1.1 常用的光学色散模型 | 第69-71页 |
| 4.1.2 混合介质模型和梯度层模型 | 第71-72页 |
| 4.1.3 透明导电薄膜的椭圆偏振光谱拟合过程 | 第72-73页 |
| 4.2 基于全光谱光学模型的ITO薄膜本构关系研究 | 第73-77页 |
| 4.3 基于全光谱光学模型的FTO薄膜本构关系研究 | 第77-90页 |
| 4.3.1 前驱体溶剂实验FTO薄膜本构关系 | 第78-83页 |
| 4.3.2 沉积温度实验FTO薄膜本构关系 | 第83-86页 |
| 4.3.3 F掺杂浓度实验FTO薄膜本构关系 | 第86-90页 |
| 4.4 本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 FTO/TiO_2串联型多功能薄膜的制备 | 第91-99页 |
| 5.1 FTO/TiO_2串联型薄膜结构与形貌分析 | 第91-95页 |
| 5.2 FTO/TiO_2串联型薄膜光电性能分析 | 第95-96页 |
| 5.3 FTO/TiO_2串联性能薄膜亲水性能的影响 | 第96-98页 |
| 5.4 本章小结 | 第98-99页 |
| 第六章 总结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 个人简历及攻读学位期间取得的科研成果 | 第107页 |
