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超声雾化辅助气相沉积方法制备TiN薄膜及其光电性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-28页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 低辐射镀膜玻璃的研究概况第13-18页
        1.2.1 薄膜低辐射性能的理论基础第13-14页
        1.2.2 低辐射镀膜玻璃的研究体系第14-16页
        1.2.3 低辐射镀膜玻璃在线制备技术第16-18页
    1.3 TiN薄膜的性能与制备第18-22页
        1.3.1 TiN的结构与性质第18-19页
        1.3.2 TiN薄膜的制备第19-22页
    1.4 超声雾化辅助沉积制备TiN薄膜的研究第22-26页
        1.4.1 超声雾化辅助沉积制备薄膜的原理与特点第22-23页
        1.4.2 TiN纳米分散液制备技术研究及进展第23-26页
    1.5 课题提出及研究意义第26-28页
第二章 实验部分第28-36页
    2.1 实验原料与实验装置第28-29页
        2.1.1 实验药品第28页
        2.1.2 实验装置第28-29页
    2.2 实验步骤第29-31页
        2.2.1 样品制备第29-31页
        2.2.2 实验参数的设定第31页
    2.3 计算方法第31-32页
        2.3.1 半球辐射率第31-32页
        2.3.2 遮蔽系数S第32页
    2.4 表征方法第32-36页
        2.4.1 结构表征第32-33页
        2.4.2 形貌表征第33页
        2.4.3 光学表征第33-34页
        2.4.4 表面化学状态表征第34页
        2.4.5 电学表征第34页
        2.4.6 分散性能表征第34-35页
        2.4.7 亲水性表征第35-36页
第三章 有机分散液为前驱体的TiN薄膜AACVD方法制备及其性能研究第36-50页
    3.1 PMA-TiN有机分散液性质第36-37页
    3.2 PMA-TiN分散液的AACVD制备TiN薄膜结构与性能研究第37-42页
        3.2.1 TiN薄膜的物相表征第37-39页
        3.2.2 TiN薄膜的形貌表征第39-40页
        3.2.3 TiN薄膜的光学性能表征第40-41页
        3.2.4 TiN薄膜的亲水性表征第41页
        3.2.5 超声雾化辅助气相沉积制备TiN薄膜机理第41-42页
    3.3 退火温度对TiN薄膜结构及其性能影响规律的研究第42-48页
        3.3.1 退火温度对TiN薄膜的物相组成和形貌影响规律的研究第43-45页
        3.3.2 退火对PMA-TiN薄膜的光学及亲水性能影响第45-47页
        3.3.3 TiN薄膜表面氧化及亲水性变化过程探讨第47-48页
    3.4 本章小结第48-50页
第四章 TiN水性纳米分散液及薄膜的制备工艺研究第50-70页
    4.1 TiN纳米粉体性能分析第50-53页
    4.2 TiN水性纳米分散液的制备工艺研究第53-61页
        4.2.1 pH值对TiN水性纳米分散液粒径及稳定性的影响第53-54页
        4.2.2 分散助剂对TiN水性纳米分散液粒径及稳定性的影响第54-57页
        4.2.3 超声及球磨对TiN水性纳米分散液粒径及稳定性的影响第57-61页
    4.3 水性TiN纳米分散液制备TiN薄膜的超声雾化辅助工艺研究第61-68页
        4.3.1 TiN水性纳米分散液制备TiN薄膜的超声雾化辅助工艺研究第61-64页
        4.3.2 TiN水性纳米分散液超声雾化辅助制备TiN薄膜物相研究第64-66页
        4.3.3 TiN水性纳米分散液超声雾化辅助制备TiN薄膜光学性能研究第66-67页
        4.3.4 TiN水性纳米分散液超声雾化辅助制备TiN薄膜亲水性研究第67-68页
    4.4 本章小结第68-70页
第五章 阴极离子镀TiN薄膜及浮法在线低辐射镀膜玻璃产品调研第70-98页
    5.1 阴极离子镀法制备TiN薄膜及其性能研究第70-76页
        5.1.1 阴极离子镀制备TiN薄膜的成分分析第70-72页
        5.1.2 阴极离子镀制备TiN薄膜的形貌分析第72-73页
        5.1.3 阴极离子镀制备TiN薄膜的光电性能分析第73-76页
    5.2 国内外浮法在线镀膜玻璃产品调研第76-95页
        5.2.1 在线LowE系列薄膜产品第76-83页
        5.2.2 TCO薄膜性能分析第83-87页
        5.2.3 LowE薄膜与TCO薄膜的性能对比第87-90页
        5.2.4 SunE(?)薄膜性能分析第90-93页
        5.2.5 低辐射性能的理论分析第93-95页
    5.3 本章小结第95-98页
第六章 总结与展望第98-100页
    6.1 总结第98-99页
    6.2 展望第99-100页
参考文献第100-108页
致谢第108-110页
个人简历第110-112页
攻读硕士学位期间发表的学术论文和取得的其他研究成果第112页

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