| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-15页 |
| 1.2 超短脉冲激光加工三维光子器件研究进展 | 第15-21页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 超短脉冲激光的波导直写技术和光束整形概述 | 第24-58页 |
| 2.1 超短脉冲激光直写光波导技术简介 | 第24-29页 |
| 2.1.1 光刻波导写入方式 | 第24-25页 |
| 2.1.2 界面球差的影响 | 第25-26页 |
| 2.1.3 光刻波导类型 | 第26-27页 |
| 2.1.4 光刻波导影响参数 | 第27-29页 |
| 2.2 超短脉冲的色散效应 | 第29-33页 |
| 2.3 基于光栅对的啁啾脉冲展宽器和压缩器及其色散特性 | 第33-40页 |
| 2.4 激光的时空整形技术 | 第40-47页 |
| 2.4.1 超短脉冲的时域整形技术 | 第40-43页 |
| 2.4.2 光束的空间整形技术 | 第43-47页 |
| 2.5 实验设备和分析手段 | 第47-58页 |
| 2.5.1 飞秒激光系统简介 | 第47-50页 |
| 2.5.2 单发脉冲强度自相关仪 | 第50-52页 |
| 2.5.3 光学显微镜 | 第52-54页 |
| 2.5.4 原子力显微镜 | 第54-55页 |
| 2.5.5 电子显微镜 | 第55-56页 |
| 2.5.6 自动研磨抛光机 | 第56-58页 |
| 第3章 熔石英玻璃中直写扩展芯光波导(ECW)的实验研究 | 第58-74页 |
| 3.1 大模场单模光波导常见实现方案 | 第58-60页 |
| 3.2 扩展芯波导的制备及导光特性研究 | 第60-69页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第60-61页 |
| 3.2.2 扩展芯波导的导光特性 | 第61-63页 |
| 3.2.3 单模工作条件 | 第63-68页 |
| 3.2.4 传输损耗和偏振效应检测 | 第68-69页 |
| 3.3 基于ECW的Y分支波导分束器 | 第69-71页 |
| 3.4 在中红外材料(GLS)中ECW概念的外推 | 第71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-74页 |
| 第4章 YB~(3+)掺杂的磷酸盐玻璃中直写光波导的实验研究 | 第74-84页 |
| 4.1 引言 | 第74-75页 |
| 4.2 实验装置 | 第75-76页 |
| 4.3 单芯Ⅰ类波导直写实验研究 | 第76-79页 |
| 4.3.1 脉冲能量的影响 | 第76-77页 |
| 4.3.2 波导激光实验研究 | 第77-78页 |
| 4.3.3 脉冲宽度的影响 | 第78-79页 |
| 4.4 板层波导和扩展芯波导直写实验研究 | 第79-82页 |
| 4.5 本章小结 | 第82-84页 |
| 第5章 贝塞尔光束特性及影响因素的数值仿真研究 | 第84-112页 |
| 5.1 零阶贝塞尔光束及产生方法 | 第86-89页 |
| 5.2 轴棱锥器件制造偏差对光束质量的影响 | 第89-92页 |
| 5.3 部分遮挡对贝塞尔光束的影响 | 第92-95页 |
| 5.3.1 被非透明障碍物部分遮挡的情形 | 第93-94页 |
| 5.3.2 被透明障碍物部分遮挡的情形 | 第94-95页 |
| 5.4 光束失准直对贝塞尔光束的影响 | 第95-99页 |
| 5.5 大锥角、紧聚焦情形的贝塞尔光束 | 第99-106页 |
| 5.5.1 如何产生紧聚焦贝塞尔光束 | 第99-104页 |
| 5.5.2 贝塞尔光束的最小光斑极限 | 第104-106页 |
| 5.6 宽带光源产生的贝塞尔光束 | 第106-110页 |
| 5.6.1 非相干宽带光源产生的贝塞尔光束 | 第106-108页 |
| 5.6.2 超短脉冲产生的贝塞尔光束 | 第108-110页 |
| 5.7 本章小结 | 第110-112页 |
| 第6章 超短贝塞尔光脉冲在玻璃表面的微通道加工实验研究 | 第112-146页 |
| 6.1 基于轴棱锥和缩束4F系统的实验光路设计 | 第113-118页 |
| 6.2 脉冲展宽和色散补偿的估计 | 第118-119页 |
| 6.3 高斯-贝塞尔光束的质量检测 | 第119-121页 |
| 6.4 高斯-贝塞尔光束在熔石英表面的微通道加工 | 第121-129页 |
| 6.5 Fourier空间频谱面上经环缝滤波的高斯-贝塞尔光束 | 第129-132页 |
| 6.5.1 环缝的制作准备 | 第130-131页 |
| 6.5.2 高斯-贝塞尔光束的空间滤波 | 第131-132页 |
| 6.6 截断高斯-贝塞尔光束特性及微通道加工研究 | 第132-144页 |
| 6.7 本章小结 | 第144-146页 |
| 第7章 总结与展望 | 第146-150页 |
| 7.1 主要工作总结 | 第146-147页 |
| 7.2 未来工作的展望 | 第147-150页 |
| 参考文献 | 第150-162页 |
| 附录 英文缩写索引 | 第162-164页 |
| 致谢 | 第164-166页 |
| 作者简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第166-167页 |
