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二维VO2/SiO2复合结构的制备及其光学特性的研究

摘要第3-4页
abstract第4-5页
第1章 绪论第8-18页
    1.1 二氧化钒(VO_2)简介第8-10页
        1.1.1 VO_2的晶格结构第8-9页
        1.1.2 VO_2薄膜的典型性质第9-10页
    1.2 光子晶体的概述第10-12页
        1.2.1 光子晶体概念和原理第10-11页
        1.2.2 光子晶体的特性第11-12页
        1.2.3 自组装法制备光子晶体结构第12页
    1.3 超材料的概述第12-15页
        1.3.1 复合胶体晶体的光学性质第13-14页
        1.3.2 超材料吸收器的研究第14-15页
    1.4 本文的研究目的和内容第15-18页
第2章 基本制备方法及分析方法第18-28页
    2.1 VO_2薄膜的制备方法第18-22页
        2.1.1 溶胶凝胶法第18-19页
        2.1.2 反应蒸发法第19-20页
        2.1.3 化学气相沉积法第20页
        2.1.4 溅射镀膜法第20-22页
    2.2 单层分散SiO_2胶体球阵列的制备工艺第22-24页
        2.2.1 溶剂蒸发法第22-23页
        2.2.2 自组装方法第23-24页
    2.3 实验设备的介绍第24-25页
        2.3.1 磁控溅射镀膜机第24页
        2.3.2 快速热处理炉第24-25页
    2.4 分析手段和测试方法第25-28页
        2.4.1 场发射扫描电子显微镜(FESEM)第26页
        2.4.2 X射线衍射技术(XRD)第26页
        2.4.3 紫外可见光分光光度计第26-28页
第3章 VO_2/SiO_2复合光子晶体结构的制备及其光学特性研究第28-42页
    3.1 引言第28-29页
    3.2 VO_2/SiO_2复合结构的制备第29-32页
        3.2.1 蓝宝石基底的准备第29-30页
        3.2.2 制备单层的SiO_2纳米球阵列第30-31页
        3.2.3 磁控溅射钒金属薄膜第31页
        3.2.4 快速热处理形成二维纳米VO_2/SiO_2复合结构第31-32页
    3.3 二维纳米VO_2/SiO_2复合结构的表面形貌及成分表征第32-35页
    3.4 二维纳米VO_2/SiO_2复合结构的光谱特性第35-40页
        3.4.1 复合结构和单层二氧化钒薄膜结构光学特性对比第35-36页
        3.4.2 不同氧气流量下对复合结构光学特性的影响及原理分析研究第36-39页
        3.4.3 不同退火时间对复合结构光学特性的影响研究第39-40页
    3.5 小结第40-42页
第4章 近红外可调的多宽带吸收器第42-52页
    4.1 超材料吸收器第42-43页
    4.2 增加金膜反射层的复合结构第43-48页
        4.2.1 吸收器复合结构的制备第43-45页
        4.2.2 吸收器的形貌结构特性第45-46页
        4.2.3 吸收器的光学特性第46-48页
    4.3 不同厚度的二氧化钒对吸收特性的影响第48-50页
    4.4 本章小结第50-52页
第5章 总结与展望第52-54页
    5.1 总结第52-53页
    5.2 展望第53-54页
参考文献第54-60页
发表的论文和参加科研情况说明第60-62页
致谢第62页

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