MEMS磁场传感器的设计与分析
| 致谢 | 第7-9页 |
| 摘要 | 第9-10页 |
| abstract | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-26页 |
| 1.1 MEMS技术的概述 | 第16-18页 |
| 1.2 磁场传感器简介 | 第18-22页 |
| 1.2.1 磁场传感器概念 | 第18-19页 |
| 1.2.2 磁场传感器的分类 | 第19页 |
| 1.2.3 磁场传感器的常用工艺 | 第19-22页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第22-24页 |
| 1.4 本论文的主要内容和章节安排 | 第24-26页 |
| 第二章 EAST托卡马克装置 | 第26-35页 |
| 2.1 EAST概述 | 第26-33页 |
| 2.1.1 基本情况 | 第26-29页 |
| 2.1.2 EAST结构框架 | 第29-31页 |
| 2.1.3 EAST历史发展 | 第31-33页 |
| 2.1.4 建设目标 | 第33页 |
| 2.2 托卡马克传统测量方法 | 第33-34页 |
| 2.2.1 测量方法 | 第33页 |
| 2.2.2 测量原理 | 第33-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 平面扭转式磁场传感器的结构设计与分析 | 第35-48页 |
| 3.1 结构介绍 | 第35-36页 |
| 3.2 工作原理 | 第36-37页 |
| 3.3 理论建模 | 第37-38页 |
| 3.4 模拟分析与验证 | 第38-44页 |
| 3.4.1 结构建模 | 第39页 |
| 3.4.2 电场、磁场和电势的分布 | 第39-40页 |
| 3.4.3 阻抗与谐振频率 | 第40-42页 |
| 3.4.4 优化性能参数 | 第42-44页 |
| 3.5 制备工艺流程 | 第44-47页 |
| 3.6 样品研制 | 第47页 |
| 3.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 梳齿状磁场传感器的结构设计与分析 | 第48-57页 |
| 4.1 结构介绍 | 第48-49页 |
| 4.2 工作原理 | 第49-50页 |
| 4.3 模拟仿真分析 | 第50-53页 |
| 4.4 工艺制备流程 | 第53-55页 |
| 4.5 样品研制 | 第55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 结论 | 第57页 |
| 5.2 展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 攻读硕士期间的学术活动及成果情况 | 第66-67页 |
