粘附层对金属/氧化硅界面热导影响研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究发展和现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 TDTR方法研究 | 第11-13页 |
| 1.2.2 界面热导研究 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第15-18页 |
| 第2章 测量原理及热传导模型 | 第18-28页 |
| 2.1 测量原理 | 第18-19页 |
| 2.2 超短脉冲激光加热后的热传导 | 第19-21页 |
| 2.2.1 金属非平衡热传导 | 第19-20页 |
| 2.2.2 界面热导和基底热传导 | 第20-21页 |
| 2.3 热传导模型 | 第21-27页 |
| 2.3.1 锁相放大器的响应信号分析 | 第21-23页 |
| 2.3.2 样品热传导分析 | 第23-25页 |
| 2.3.3 相位角的修正 | 第25-26页 |
| 2.3.4 灵敏度的分析 | 第26-27页 |
| 2.4 本章总结 | 第27-28页 |
| 第3章 双光束飞秒激光测量系统 | 第28-40页 |
| 3.1 总体设计 | 第28-29页 |
| 3.2 主要仪器设备 | 第29-34页 |
| 3.2.1 飞秒脉冲激光器 | 第29-30页 |
| 3.2.2 电光调制器 | 第30页 |
| 3.2.3 锁相放大器 | 第30-31页 |
| 3.2.4 倍频晶体 | 第31页 |
| 3.2.5 位移台 | 第31-32页 |
| 3.2.6 系统控制与数据采集 | 第32页 |
| 3.2.7 光束质量分析仪 | 第32-33页 |
| 3.2.8 光电探测器 | 第33-34页 |
| 3.3 系统调试与测量 | 第34-37页 |
| 3.3.1 系统调试 | 第34-36页 |
| 3.3.2 系统测量 | 第36-37页 |
| 3.4 系统误差 | 第37-38页 |
| 3.4.1 电子噪声 | 第37页 |
| 3.4.2 相干射频传感器 | 第37页 |
| 3.4.3 高频分量 | 第37-38页 |
| 3.4.4 激光功率波动 | 第38页 |
| 3.5 本章总结 | 第38-40页 |
| 第4章 粘附层对金属/氧化硅界面热导影响 | 第40-46页 |
| 4.1 样品制备与表征 | 第40-41页 |
| 4.2 界面热导测量 | 第41-42页 |
| 4.3 分析与讨论 | 第42-45页 |
| 4.3.1 金属层 | 第42-44页 |
| 4.3.2 粘附层 | 第44页 |
| 4.3.3 灵敏度分析 | 第44-45页 |
| 4.4 本章总结 | 第45-46页 |
| 第5章 粘附层对金/氧化硅界面热导影响 | 第46-54页 |
| 5.1 灵敏度分析 | 第46-48页 |
| 5.1.1 调制频率的影响 | 第46-47页 |
| 5.1.2 样品结构影响 | 第47-48页 |
| 5.2 样品制备与表征 | 第48-49页 |
| 5.3 界面热导测量 | 第49-50页 |
| 5.4 界面结合强度测量 | 第50-51页 |
| 5.5 分析与讨论 | 第51-52页 |
| 5.6 本章总结 | 第52-54页 |
| 第6章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 研究内容总结 | 第54-55页 |
| 6.2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第64页 |
