| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 超精密运动平台国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 摩擦模型及补偿方法发展概况 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 精密可变狭缝系统分析 | 第16-32页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 精密可变狭缝系统结构 | 第16-20页 |
| 2.2.1 平台坐标定义 | 第16-17页 |
| 2.2.2 平台机械结构 | 第17-19页 |
| 2.2.3 精密可变狭缝系统电控系统 | 第19-20页 |
| 2.3 精密可变狭缝系统运动指标及轨迹规划 | 第20-24页 |
| 2.3.1 X向运动指标及指标分解 | 第20-21页 |
| 2.3.2 Y向运动指标及指标分解 | 第21-22页 |
| 2.3.3 运动轨迹规划 | 第22-24页 |
| 2.4 精密可变狭缝系统摩擦力分析 | 第24-28页 |
| 2.4.1 刀片组件之间的摩擦分析 | 第24-26页 |
| 2.4.2 Y向重力补偿器摩擦分析 | 第26-28页 |
| 2.5 摩擦干扰力实验数据采集 | 第28-31页 |
| 2.5.1 干扰力实验数据采集原理 | 第28-29页 |
| 2.5.2 干扰力实验数据采集方案制定 | 第29页 |
| 2.5.3 干扰力实验数据预处理 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 精密可变狭缝系统摩擦干扰建模 | 第32-54页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 模型的选择 | 第32-36页 |
| 3.3 LUGRE模型静态参数辨识 | 第36-50页 |
| 3.3.1 LuGre模型静态参数辨识原理 | 第36-38页 |
| 3.3.2 最小二乘法静态参数辨识 | 第38-43页 |
| 3.3.3 粒子群优化算法静态参数辨识 | 第43-50页 |
| 3.4 LUGRE模型动态参数辨识 | 第50-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 基于摩擦模型的前馈补偿控制 | 第54-70页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 系统平台频域辨识 | 第54-56页 |
| 4.3 基于LUGRE静态摩擦模型前馈补偿控制 | 第56-61页 |
| 4.3.1 基于LuGre静态摩擦模型前馈补偿控制设计 | 第57-58页 |
| 4.3.2 基于LuGre静态摩擦模型前馈补偿控制仿真 | 第58-61页 |
| 4.4 基于LUGRE动态摩擦模型前馈补偿控制 | 第61-66页 |
| 4.4.1 基于LuGre动态摩擦模型前馈补偿控制设计 | 第61-64页 |
| 4.4.2 基于LuGre动态摩擦模型前馈补偿控制仿真 | 第64-66页 |
| 4.5 基于LUGRE摩擦模型前馈补偿实验 | 第66-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 带观测器的自适应前馈补偿控制 | 第70-78页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 自适应控制器设计 | 第70-74页 |
| 5.3 自适应前馈控制方案的仿真 | 第74-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
