整形飞秒脉冲控制凝聚态材料烧蚀过程
内容提要 | 第1-6页 |
第一章 前言 | 第6-16页 |
·激光烧蚀概述 | 第6-11页 |
·激光烧蚀的时间尺度 | 第7-9页 |
·激光能量对烧蚀的影响 | 第9-10页 |
·不同物质的烧蚀机制 | 第10页 |
·激光烧蚀的发展方向 | 第10-11页 |
·飞秒激光脉冲整形技术概述 | 第11-15页 |
·飞秒激光脉冲整形基本原理 | 第11-13页 |
·自适应脉冲整形 | 第13-14页 |
·整形飞秒脉冲在烧蚀中的应用 | 第14-15页 |
·本文框架及内容 | 第15-16页 |
第二章 实验系统 | 第16-22页 |
·整形系统示意图 | 第16-19页 |
·自适应整形脉冲烧蚀系统 | 第19-21页 |
·双脉冲烧蚀系统 | 第21-22页 |
第三章 实验结果及讨论 | 第22-48页 |
·双脉冲烧蚀硅 | 第22-30页 |
·整形脉冲烧蚀单晶硅 | 第30-39页 |
·交叉相关测量整形光路输出脉冲脉宽 | 第30页 |
·整形脉冲烧蚀单晶硅的GA结果 | 第30-39页 |
·整形脉冲烧蚀K9 玻璃的GA结果 | 第39-40页 |
·金属铜钻孔 | 第40-48页 |
·空气中和真空中的烧蚀形貌对比 | 第40-41页 |
·空气中整形脉冲钻孔与单脉冲钻孔对比 | 第41-48页 |
第四章 结论与展望 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-52页 |
致谢 | 第52-53页 |
摘要 | 第53-54页 |
Abstract | 第54-55页 |