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整形飞秒脉冲控制凝聚态材料烧蚀过程

内容提要第1-6页
第一章 前言第6-16页
   ·激光烧蚀概述第6-11页
     ·激光烧蚀的时间尺度第7-9页
     ·激光能量对烧蚀的影响第9-10页
     ·不同物质的烧蚀机制第10页
     ·激光烧蚀的发展方向第10-11页
   ·飞秒激光脉冲整形技术概述第11-15页
     ·飞秒激光脉冲整形基本原理第11-13页
     ·自适应脉冲整形第13-14页
     ·整形飞秒脉冲在烧蚀中的应用第14-15页
   ·本文框架及内容第15-16页
第二章 实验系统第16-22页
   ·整形系统示意图第16-19页
   ·自适应整形脉冲烧蚀系统第19-21页
   ·双脉冲烧蚀系统第21-22页
第三章 实验结果及讨论第22-48页
   ·双脉冲烧蚀硅第22-30页
   ·整形脉冲烧蚀单晶硅第30-39页
     ·交叉相关测量整形光路输出脉冲脉宽第30页
     ·整形脉冲烧蚀单晶硅的GA结果第30-39页
   ·整形脉冲烧蚀K9 玻璃的GA结果第39-40页
   ·金属铜钻孔第40-48页
     ·空气中和真空中的烧蚀形貌对比第40-41页
     ·空气中整形脉冲钻孔与单脉冲钻孔对比第41-48页
第四章 结论与展望第48-49页
参考文献第49-52页
致谢第52-53页
摘要第53-54页
Abstract第54-55页

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