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脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒成核生长过程研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第1章 绪论第13-28页
    1.1 引言第13-14页
    1.2 硅基纳米材料的研究现状第14-15页
    1.3 脉冲激光烧蚀制备方法的研究现状第15-17页
        1.3.1 纳米材料制备方法简介第15页
        1.3.2 脉冲激光烧蚀技术的研究现状第15-17页
    1.4 纳秒脉冲激光烧蚀制备纳米硅晶粒的研究现状第17-21页
        1.4.1 实验制备方法研究现状第18页
        1.4.2 烧蚀粒子动力学过程研究现状第18-20页
        1.4.3 纳米硅晶粒成核理论研究现状第20-21页
    1.5 主要研究内容第21-22页
    参考文献第22-28页
第2章 理论基础与实验方法第28-40页
    2.1 MonteCarlo方法第28-29页
        2.1.1 MonteCarlo方法简述第28-29页
        2.1.2 MonteCarlo方法对粒子输运过程模拟的有效可行性第29页
    2.2 基本假设第29-31页
        2.2.1 烧蚀粒子假设第29页
        2.2.2 环境气体假设第29-30页
        2.2.3 碰撞假设第30-31页
    2.3 气相成核生长理论第31-33页
        2.3.1 成核生长过程简述第31页
        2.3.2 成核生长过程中的能量变化第31-32页
        2.3.3 晶体成核理论第32-33页
    2.4 模拟过程第33-36页
        2.4.1 模拟过程示意图第33-34页
        2.4.2 模拟过程概述第34-36页
    2.5 实验方法第36页
    2.6 样品表征第36-38页
        2.6.1 扫描电子显微镜第36页
        2.6.2 X射线衍射仪第36-37页
        2.6.3 拉曼光谱检测第37-38页
    参考文献第38-40页
第3章 成核生长模型的构建第40-51页
    3.1 引言第40-41页
    3.2 成核生长过程中热力学条件的确定第41-42页
        3.2.1 成核生长的速度条件第41页
        3.2.2 成核生长的密度条件第41页
        3.2.3 关于临界晶核第41-42页
    3.3 稳定晶核所含原子数目的确定第42-48页
        3.3.1 稳定晶核所含原子数变化时对晶粒尺寸的影响第42-43页
        3.3.2 实验结果第43-44页
        3.3.3 稳定晶核半径的确定第44-48页
    3.4 不同激光能量下晶粒尺寸的分布规律第48-49页
    3.5 本章小结第49页
    参考文献第49-51页
第4章 对速度分布劈裂现象的研究第51-71页
    4.1 引言第51-52页
    4.2 不同计算条件下速度劈裂现象研究第52-63页
        4.2.1 固定自由程不考虑成核生长第53-54页
        4.2.2 变化自由程不考虑成核生长第54-55页
        4.2.3 考虑成核生长固定自由程第55-60页
        4.2.4 考虑成核生长和变化自由程第60-62页
        4.2.5 模拟结果与实验数据比较第62-63页
    4.3 速度劈裂原因分析第63-68页
    4.4 速度劈裂的压强范围第68-69页
    4.5 本章小结第69-70页
    参考文献第70-71页
第5章 对成核生长过程的研究第71-91页
    5.1 引言第71页
    5.2 成核生长过程研究第71-74页
        5.2.1 成核次数随时间演化规律第71-72页
        5.2.2 生长次数随时间演化规律第72-74页
    5.3 压强对成核生长过程的影响第74-81页
        5.3.1 压强对成核过程的影响第75-77页
        5.3.2 压强对生长过程的影响第77-79页
        5.3.3 压强对晶粒尺寸分布的影响第79-81页
    5.4 衬底对成核生长过程的影响第81-88页
        5.4.1 模拟方法第82页
        5.4.2 衬底对成核生长过程的影响第82-83页
        5.4.3 过饱和度计算第83-85页
        5.4.4 过饱和度对成核生长次数的影响第85-86页
        5.4.5 过饱和度对烧蚀粒子密度和速度的影响第86-88页
    5.5 本章小结第88-89页
    参考文献第89-91页
第6章 成核生长模型对铕材料的适用性第91-100页
    6.1 引言第91-92页
    6.2 初始参数设置第92-93页
    6.3 不考虑成核生长时铕粒子速度劈裂的研究第93-94页
    6.4 考虑成核生长时对铕粒子速度劈裂的研究第94-97页
        6.4.1 成核生长的热力学条件第94-95页
        6.4.2 关于临界晶核第95页
        6.4.3 稳定晶核半径的确定第95-96页
        6.4.4 结果讨论第96-97页
    6.5 压强对铕羽辉速度劈裂的影响第97-98页
    6.6 本章小结第98页
    参考文献第98-100页
结束语第100-102页
致谢第102-103页
攻读博士学位期间发表的论文第103页

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