| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第13-14页 |
| 1.3 论文的研究内容及框架结构 | 第14-16页 |
| 第二章 声表面波温度传感器的理论 | 第16-31页 |
| 2.1 声表面波理论 | 第16-18页 |
| 2.1.1 瑞利波 | 第16-17页 |
| 2.1.2 SH型声表面波 | 第17-18页 |
| 2.1.3 漏声表面波 | 第18页 |
| 2.2 声表面波温度传感器 | 第18-22页 |
| 2.2.1 声表面波器件的基本结构 | 第18-19页 |
| 2.2.2 声表面波温度传感原理 | 第19-20页 |
| 2.2.3 声表面波温度传感器种类 | 第20-22页 |
| 2.3 压电材料 | 第22-27页 |
| 2.3.1 压电基底的重要参数 | 第22-24页 |
| 2.3.2 压电单晶材料 | 第24-25页 |
| 2.3.3 压电材料中的声表面波特性 | 第25-27页 |
| 2.4 声表面波器件仿真模型 | 第27-30页 |
| 2.4.1 δ函数模型 | 第27-28页 |
| 2.4.2 耦合模（COM）模型 | 第28-29页 |
| 2.4.3 P矩阵模型 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 声表面波温度传感器的设计与仿真 | 第31-45页 |
| 3.1 声表面波器件的设计 | 第31-34页 |
| 3.1.1 声表面波器件的结构参数 | 第31-32页 |
| 3.1.2 声表面波器件参数的设计 | 第32-34页 |
| 3.2 有限元法及其仿真分析软件 | 第34-35页 |
| 3.2.1 有限元法 | 第34-35页 |
| 3.2.2 有限元分析软件 | 第35页 |
| 3.3 基于YCOB压电晶体的COMSOL有限元仿真和分析 | 第35-44页 |
| 3.3.1 COMSOL仿真 | 第35-41页 |
| 3.3.2 特征频率的分析 | 第41-43页 |
| 3.3.3 频率响应的分析 | 第43页 |
| 3.3.4 不同电极厚度的影响分析 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 声表面波温度传感器的制备工艺 | 第45-58页 |
| 4.1 声表面波器件制备的工艺流程 | 第45页 |
| 4.2 光刻掩膜版的设计 | 第45-46页 |
| 4.3 基底基片前处理 | 第46-47页 |
| 4.4 光刻IDT图形 | 第47-55页 |
| 4.4.1 光刻胶 | 第47-49页 |
| 4.4.2 烘片、涂胶及前烘 | 第49-50页 |
| 4.4.3 对准和曝光 | 第50-52页 |
| 4.4.4 反转烘、泛曝和显影 | 第52-53页 |
| 4.4.5 显影后检查 | 第53-55页 |
| 4.5 IDT金属电极薄膜的生长和剥离 | 第55-56页 |
| 4.6 快速热处理 | 第56-57页 |
| 4.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 基于YCOB声表面波温度传感器性能研究 | 第58-77页 |
| 5.1 测试方法 | 第58-60页 |
| 5.1.1 网络分析仪 | 第58页 |
| 5.1.2 S参数和群时延特性 | 第58-59页 |
| 5.1.3 高温测试平台 | 第59-60页 |
| 5.2 基于YCOB的SAW谐振器测试与分析 | 第60-67页 |
| 5.2.1 常温S11测试与分析 | 第61-62页 |
| 5.2.2 高温测试与分析 | 第62-65页 |
| 5.2.3 温度稳定性的测试与分析 | 第65-67页 |
| 5.3 基于YCOB的声表面波无线温度传感器测试 | 第67-76页 |
| 5.3.1 无线测试方法 | 第67-69页 |
| 5.3.2 无线高温测试与分析 | 第69-73页 |
| 5.3.3 无线高温稳定性测试与分析 | 第73-76页 |
| 5.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 攻硕期间取得的科研成果 | 第82-83页 |