宽温范围微机械陀螺温度特性研究及性能改善
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 微机械陀螺仪分类及应用前景 | 第9-11页 |
| 1.3 微机械陀螺仪国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3.1 微机械陀螺仪国外研究概况 | 第11-12页 |
| 1.3.2 微机械陀螺仪国内研究概况 | 第12-14页 |
| 1.4 微机械陀螺仪温度特性国内外研究状况 | 第14-16页 |
| 1.5 论文研究目的及意义 | 第16-17页 |
| 1.6 论文组织结构 | 第17-19页 |
| 第二章 微机械陀螺仪的基本工作原理 | 第19-29页 |
| 2.1 哥氏效应 | 第19-20页 |
| 2.2 硅微陀螺仪结构 | 第20-21页 |
| 2.3 硅微陀螺仪工作原理 | 第21-23页 |
| 2.4 硅微陀螺仪的静电驱动和电容检测 | 第23-26页 |
| 2.4.1 静电驱动 | 第23-25页 |
| 2.4.2 硅微陀螺仪电容检测 | 第25-26页 |
| 2.5 机械热噪声与电子热噪声 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 微机械陀螺仪温度特性机理分析 | 第29-41页 |
| 3.1 杨氏模量、热膨胀系数与温度的关系 | 第29-30页 |
| 3.2 温度对硅微陀螺微结构固有频率的影响 | 第30-32页 |
| 3.3 温度对硅微陀螺品质因数的影响 | 第32-36页 |
| 3.3.1 压膜和滑膜阻尼系数 | 第32-33页 |
| 3.3.2 驱动品质因数和检测品质因数 | 第33-36页 |
| 3.4 温度对硅微陀螺微结构稳定时间的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 温度对硅微陀螺微结构振动幅度的影响 | 第37-38页 |
| 3.6 温度对硅微陀螺微结构机械灵敏度的影响 | 第38-39页 |
| 3.7 温度对硅微陀螺微结构电容变化的影响 | 第39-40页 |
| 3.8 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 微机械陀螺仪性能测试与分析 | 第41-51页 |
| 4.1 微机械陀螺仪常温基本性能测试 | 第41-45页 |
| 4.1.1 谐振频率与品质因数参数测量 | 第41-42页 |
| 4.1.2 标度因数相关性能参数测试 | 第42-43页 |
| 4.1.3 零偏相关性能参数测试 | 第43-45页 |
| 4.1.4 常温测试结果分析 | 第45页 |
| 4.2 硅微陀螺仪全温基本性能测试 | 第45-50页 |
| 4.2.1 谐振频率及品质因数的温度特性 | 第45-46页 |
| 4.2.2 标度因数温度特性 | 第46-47页 |
| 4.2.3 零偏温度特性 | 第47-50页 |
| 4.2.4 全温测试结果分析 | 第50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 温度补偿技术研究 | 第51-63页 |
| 5.1 数字补偿方案的基本思想 | 第51-52页 |
| 5.2 温度信号的提取 | 第52-55页 |
| 5.3 标度因数补偿 | 第55-56页 |
| 5.4 零偏补偿 | 第56-57页 |
| 5.5 温度补偿实验 | 第57-62页 |
| 5.5.1 标度因数的温度补偿 | 第58-60页 |
| 5.5.2 零偏温度补偿 | 第60-61页 |
| 5.5.3 补偿后标度因数及零偏的常温性能 | 第61-62页 |
| 5.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
