基于温敏结构的硅微谐振式加速度计温度补偿技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.2.1 硅微谐振式加速度计国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.2 温度适应性问题国内外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 论文组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 硅微谐振式加速度计的工作原理 | 第20-30页 |
| 2.1 硅微谐振式加速度计的基本组成 | 第20-23页 |
| 2.1.1 加速度计的力学模型 | 第20-21页 |
| 2.1.2 机械结构的基本组成 | 第21页 |
| 2.1.3 力谐振器的简化模型 | 第21-23页 |
| 2.2 闭环驱动电路的工作原理 | 第23-27页 |
| 2.2.1 闭环驱动电路的基本组成 | 第23页 |
| 2.2.2 静电驱动原理 | 第23-25页 |
| 2.2.3 检测模块的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.2.4 驱动模块的工作原理 | 第26-27页 |
| 2.3 测频电路的工作原理 | 第27-29页 |
| 2.3.1 测频电路的基本组成 | 第27-28页 |
| 2.3.2 测频模块工作原理 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 温度对硅微谐振式加速度计的影响机理研究 | 第30-41页 |
| 3.1 温度对零偏的影响 | 第30-32页 |
| 3.2 温度对标度因数的影响 | 第32-38页 |
| 3.3 温度对噪声的影响 | 第38-39页 |
| 3.4 温度对品质因数的影响 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 硅微谐振式加速度计温敏结构设计 | 第41-55页 |
| 4.1 解决温度适应性问题方法讨论 | 第41-42页 |
| 4.2 温敏结构方案选择 | 第42页 |
| 4.3 温度谐振器基频选择 | 第42-43页 |
| 4.4 温敏结构尺寸确定 | 第43-45页 |
| 4.4.1 振梁尺寸 | 第43页 |
| 4.4.2 振梁间距 | 第43-45页 |
| 4.5 温度谐振器模态仿真 | 第45-46页 |
| 4.6 温度谐振器热仿真分析 | 第46-47页 |
| 4.7 加速度对温敏结构谐振频率的影响 | 第47页 |
| 4.8 温度谐振器静力仿真分析 | 第47-48页 |
| 4.9 温度谐振器瞬态冲击响应分析 | 第48-50页 |
| 4.9.1 温度谐振器x方向冲击响应分析 | 第48-49页 |
| 4.9.2 温度谐振器y方向冲击响应分析 | 第49页 |
| 4.9.3 温度谐振器z方向冲击响应分析 | 第49-50页 |
| 4.10 温度谐振器谐响应分析 | 第50-51页 |
| 4.11 温度谐振器布局方案 | 第51-52页 |
| 4.12 温度谐振器加工工艺简介 | 第52-53页 |
| 4.13 温度谐振器阻尼分析 | 第53-54页 |
| 4.13.1 滑膜阻尼 | 第53-54页 |
| 4.13.2 压膜阻尼 | 第54页 |
| 4.14 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 硅微谐振式加速度计温度实验及补偿模型研究 | 第55-92页 |
| 5.1 实验内容和实验设备 | 第55-56页 |
| 5.1.1 实验内容 | 第55页 |
| 5.1.2 实验设备 | 第55-56页 |
| 5.2 全温实验 | 第56-57页 |
| 5.3 常温实验 | 第57-60页 |
| 5.3.1 零偏稳定性 | 第58-59页 |
| 5.3.2 标度因数稳定性 | 第59-60页 |
| 5.4 恒温实验 | 第60-68页 |
| 5.4.1 零偏稳定性 | 第60-64页 |
| 5.4.2 标度因数稳定性 | 第64-68页 |
| 5.5 变温实验 | 第68-70页 |
| 5.6 最小二乘法模型 | 第70-77页 |
| 5.6.1 基本原理 | 第70-71页 |
| 5.6.2 数据处理 | 第71-77页 |
| 5.7 神经网络模型 | 第77-88页 |
| 5.7.1 基本原理 | 第77-81页 |
| 5.7.2 数据处理 | 第81-88页 |
| 5.8 最小二乘法模型和神经网络模型补偿结果对比 | 第88-90页 |
| 5.9 温度谐振器和铂电阻对比 | 第90页 |
| 5.10 本章小结 | 第90-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-94页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第92页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-98页 |
| 作者简介 | 第98页 |
