考虑尺度效应及边缘效应的MEMS梳齿谐振器静动力学特性分析
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 字母注释表 | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 微机电系统概述 | 第14-16页 |
| 1.2 微梳齿谐振器 | 第16-17页 |
| 1.3 梳齿微谐振研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3.1 吸合效应 | 第18-19页 |
| 1.3.2 尺度效应 | 第19-21页 |
| 1.3.3 边缘效应 | 第21页 |
| 1.3.4 非线性振动 | 第21-23页 |
| 1.4 研究内容及结构 | 第23-25页 |
| 第二章 尺度效应下微梳齿动力学模型 | 第25-35页 |
| 2.1 材料的尺度效应 | 第25-26页 |
| 2.2 偶应力理论 | 第26-29页 |
| 2.3 折叠梁模型 | 第29-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 尺度效应下梳齿谐振器动力学特性 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 静电力计算 | 第36-38页 |
| 3.2.1 单侧静电激励力 | 第37页 |
| 3.2.2 总静电激励力 | 第37-38页 |
| 3.3 运动方程与振动响应方程 | 第38-39页 |
| 3.4 尺度效应对系统横向稳定性的影响 | 第39-41页 |
| 3.5 主共振分析 | 第41-50页 |
| 3.5.1 幅频分析 | 第42-45页 |
| 3.5.2 软硬特性分析 | 第45-48页 |
| 3.5.3 线性过渡分析 | 第48-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 边缘效应对微梳齿谐振器动力学特性的影响 | 第52-63页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 静电激励力分析 | 第52-54页 |
| 4.2.1 单侧静电激励力 | 第52-54页 |
| 4.2.2 总静电激励力 | 第54页 |
| 4.3 运动方程与振动响应方程 | 第54-57页 |
| 4.4 理论分析与数值仿真 | 第57-62页 |
| 4.4.1 边缘效应对系统横向稳定性的影响 | 第57-58页 |
| 4.4.2 边缘效应对系统固有频率的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.3 边缘效应对系统软硬特性的影响 | 第59-61页 |
| 4.4.4 边缘效应对系统线性过渡行为的影响 | 第61-62页 |
| 4.5 结论 | 第62-63页 |
| 第五章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 主要研究结论 | 第63-64页 |
| 5.2 研究展望与不足 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
