| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 瞄准与测量传感器国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 非接触式瞄准与测量传感器 | 第10-12页 |
| 1.2.1.1 基于电容原理的瞄准与测量传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.1.2 基于塞规检测原理的瞄准与测量传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.2 接触式瞄准与测量传感器 | 第12-15页 |
| 1.2.3 基于 DVD 激光头进行象散离焦检测的传感器 | 第15-16页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容与解决的问题 | 第16-18页 |
| 第2章 总体方案设计与柔性悬挂机构刚度建模 | 第18-34页 |
| 2.1 传感器测量原理与结构设计 | 第18-20页 |
| 2.1.1 传感器的整体结构与测量原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 差动象散离焦检测单元空间布局设计 | 第19-20页 |
| 2.1.3 线位移差动检测技术 | 第20页 |
| 2.2 柔性悬挂机构刚度模型与仿真 | 第20-32页 |
| 2.2.1 纵向刚度的数学模型 | 第22-26页 |
| 2.2.2 横向刚度的数学模型 | 第26-31页 |
| 2.2.3 传感器分辨力与量程理论计算 | 第31-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 传感器机械结构设计 | 第34-46页 |
| 3.1 柔性悬挂机构固有频率分析与优化设计 | 第34-41页 |
| 3.1.1 质量与质心对柔性悬挂机构固有频率的影响分析 | 第34-36页 |
| 3.1.2 弹性膜片结构尺寸对固有频率的影响分析 | 第36-41页 |
| 3.2 DVD 激光头零位精密调整机构设计 | 第41-44页 |
| 3.2.1 精密调整机构方案选择 | 第41-43页 |
| 3.2.2 基于楔形块原理的精密调整机构设计 | 第43-44页 |
| 3.3 测针尺寸设计 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 差动象散离焦检测单元信号处理电路设计 | 第46-57页 |
| 4.1 DVD 激光头位移检测技术分析 | 第46-50页 |
| 4.1.1 象散离焦检测技术原理分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 DVD 激光头光路分析 | 第47-50页 |
| 4.2 DVD 激光头低频噪声抑制 | 第50-54页 |
| 4.3 象散离焦检测单元信号处理电路设计 | 第54-56页 |
| 4.3.1 半导体激光器稳功率电路设计 | 第54-55页 |
| 4.3.2 四象限探测器输出信号处理电路设计 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 传感器性能测试实验 | 第57-67页 |
| 5.1 FES 曲线特性测量实验 | 第57-63页 |
| 5.1.1 FES 曲线特性测量实验平台 | 第57-58页 |
| 5.1.2 DVD 激光头位移检测分辨力实验 | 第58-60页 |
| 5.1.3 FES 曲线重复性与复现性实验 | 第60-63页 |
| 5.2 传感器性能测试实验 | 第63-66页 |
| 5.2.1 传感器性能测试实验平台 | 第63-64页 |
| 5.2.2 传感器分辨力实验 | 第64-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
