基于AD7747的电容式微位移测量系统的研究与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.3 相关领域研究现状 | 第11-15页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 电容测微原理概述及系统方案设计 | 第17-29页 |
| 2.1 电容位移传感器分类及原理简述 | 第17-21页 |
| 2.1.1 变面积型电容位移传感器 | 第18-19页 |
| 2.1.2 变电介质型电容位移传感器 | 第19-20页 |
| 2.1.3 变极距型电容位移传感器 | 第20-21页 |
| 2.2 电容位移传感器测量方法研究 | 第21-27页 |
| 2.2.1 几种常用电容测微方法 | 第22-24页 |
| 2.2.2 数字化电容测微方法 | 第24-27页 |
| 2.3 测量系统整体方案设计 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 电容式微位移测量系统的研制 | 第29-45页 |
| 3.1 电容位移传感器设计原则 | 第29-31页 |
| 3.1.1 传感器的选材与加工 | 第29页 |
| 3.1.2 边缘效应的消除方法 | 第29-30页 |
| 3.1.3 克服寄生电容的影响 | 第30页 |
| 3.1.4 减小外界的干扰 | 第30-31页 |
| 3.2 电容位移传感器的设计与制作 | 第31-37页 |
| 3.2.1 传感器探头设计 | 第31-36页 |
| 3.2.2 传感器测量电路设计 | 第36-37页 |
| 3.3 测量系统控制模块电路设计 | 第37-40页 |
| 3.3.1 系统主控电路设计 | 第37-38页 |
| 3.3.2 信号隔离模块电路设计 | 第38-39页 |
| 3.3.3 数显模块电路设计 | 第39-40页 |
| 3.4 测量系统软件设计 | 第40-44页 |
| 3.4.1 系统控制模块软件设计 | 第40-42页 |
| 3.4.2 上位机测量软件设计 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 测量系统的标定与数据处理 | 第45-60页 |
| 4.1 测量系统的标定 | 第45-52页 |
| 4.1.1 标定平台的设计与构建 | 第45-47页 |
| 4.1.2 位移装置的标定 | 第47-50页 |
| 4.1.3 位移传感器的标定 | 第50-52页 |
| 4.2 测量系统数据处理 | 第52-59页 |
| 4.2.1 插值方法选取 | 第52-53页 |
| 4.2.2 插值处理及效果评价 | 第53-56页 |
| 4.2.3 测量数据补偿 | 第56-59页 |
| 4.2.4 位移求取分析 | 第59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 测量系统测试实验与分析 | 第60-69页 |
| 5.1 线性度实验 | 第60-62页 |
| 5.2 分辨力实验 | 第62-64页 |
| 5.3 重复性实验 | 第64-65页 |
| 5.4 测量系统误差分析 | 第65-68页 |
| 5.4.1 安装倾斜引入的误差分析 | 第65-67页 |
| 5.4.2 温度变化引入的误差分析 | 第67页 |
| 5.4.3 位移装置引入的误差分析 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 工作总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 工作总结 | 第69-70页 |
| 6.2 工作展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
