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P型CuCrO2薄膜的磁控溅射法制备工艺优化与性能研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第15-26页
    1.1 引言第15-17页
    1.2 P型铜铁矿TCO的国内外研究进展第17-18页
    1.3 P型CuCrO_2的晶体结构和能带结构第18-20页
        1.3.1 CuCrO_2的晶体结构第18-19页
        1.3.2 CuCrO_2的能带结构第19-20页
    1.4 CuCrO_2薄膜的应用前景第20-24页
    1.5 论文的研究意义与主要内容第24-26页
第二章 CuCrO_2薄膜的制备及表征方法第26-42页
    2.1 CuCrO_2薄膜的制备方法简介第26-31页
        2.1.1 分子束外延法第26-27页
        2.1.2 脉冲激光沉积法第27-28页
        2.1.3 化学气相沉积法第28-29页
        2.1.4 溶胶凝胶法第29-30页
        2.1.5 电子束蒸发法第30-31页
    2.2 CuCrO_2薄膜的制备第31-35页
        2.2.1 磁控溅射法第31-32页
        2.2.2 薄膜的制备工艺第32-35页
    2.3 薄膜的表征方法第35-42页
        2.3.1 X射线衍射分析第35-37页
        2.3.2 场发射扫描电子显微镜分析第37-38页
        2.3.3 紫外-可见光透射光谱分析第38-39页
        2.3.4 薄膜的厚度测量第39-40页
        2.3.5 薄膜的电学性能测量第40-42页
第三章 CuCrO_2薄膜的制备与性能分析第42-66页
    3.1 引言第42页
    3.2 衬底温度对CuCrO_2薄膜的性能影响第42-50页
        3.2.1 衬底温度对CuCrO_2薄膜的物相结构的影响第43-44页
        3.2.2 衬底温度对CuCrO_2薄膜的表面形貌的影响第44-46页
        3.2.3 衬底温度对CuCrO_2薄膜的光学性能的影响第46-50页
    3.3 溅射功率对CuCrO_2薄膜的性能影响第50-58页
        3.3.1 CuCrO_2薄膜的沉积速率与溅射功率P_s的关系第50-52页
        3.3.2 溅射功率P_s对CuCrO_2薄膜的物相结构的影响第52-54页
        3.3.3 溅射功率P_s对CuCrO_2薄膜的表面形貌的影响第54-55页
        3.3.4 溅射功率P_S对CuCrO_2薄膜的光学性能的影响第55-58页
    3.4 退火时间对CuCrO_2薄膜的性能影响第58-64页
        3.4.1 退火时间对CuCrO_2薄膜的物相结构的影响第58-59页
        3.4.2 退火时间对CuCrO_2薄膜的表面形貌的影响第59-61页
        3.4.3 退火时间对CuCrO_2薄膜的光学性能的影响第61-64页
    3.5 本章小结第64-66页
第四章 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的制备与性能分析第66-75页
    4.1 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的制备第66-69页
        4.1.1 样品制备第66-67页
        4.1.2 电极的制备第67-68页
        4.1.3 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的测试第68-69页
    4.2 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的性能测试第69-74页
        4.2.1 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的物相结构分析第69-70页
        4.2.2 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的表面形貌分析第70-71页
        4.2.3 p-CuCrO_2/n-ZnO p-n结的I-V特性分析第71-74页
    4.3 本章小结第74-75页
全文总结第75-77页
特色与创新之处第77-78页
参考文献第78-84页
攻读硕士学位期间发表的论文第84-86页
致谢第86页

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