| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究历史与现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 氮化铝兰姆波谐振器设计与制造 | 第14-25页 |
| 2.1 压电谐振器的工作原理与兰姆波特性 | 第14-17页 |
| 2.2 谐振器性能参数 | 第17-18页 |
| 2.3 兰姆波谐振器的特性 | 第18-22页 |
| 2.4 兰姆波谐振器制造工艺 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于高性能兰姆波谐振器的梯形滤波器设计与制造 | 第25-39页 |
| 3.1 梯形滤波器简介 | 第25-26页 |
| 3.2 梯形滤波器设计准则 | 第26-37页 |
| 3.2.1 谐振器性能系数 | 第26-29页 |
| 3.2.2 高性能系数的谐振器设计 | 第29-36页 |
| 3.2.3 滤波器其他参数 | 第36-37页 |
| 3.3 高性能梯形滤波器制造与测试 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 终端为50欧姆的兰姆波滤波器设计与制造 | 第39-51页 |
| 4.1 通过电容电感网络转换滤波器的终端阻抗 | 第39-47页 |
| 4.1.1 含匹配网络的滤波器设计 | 第39-43页 |
| 4.1.2 含匹配网络的滤波器制造与测试 | 第43-46页 |
| 4.1.3 滤波器频率修正 | 第46-47页 |
| 4.2 集成电容的兰姆波滤波器 | 第47-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 基于氮化铝兰姆波谐振器的传感器设计与制造 | 第51-64页 |
| 5.1 声波传感器中的重要参数 | 第51页 |
| 5.2 MEMS压电声波传感器简介 | 第51-53页 |
| 5.3 兰姆波传感器与FBAR传感器在液体环境下的特性 | 第53-57页 |
| 5.4 声波传感器与微流道集成技术 | 第57-63页 |
| 5.4.1 微流体与微流道技术简介 | 第57页 |
| 5.4.2 集成微流道的声波传感器 | 第57-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 应用前景 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |