| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 SAW传感器的研究背景与意义 | 第7-8页 |
| 1.3 SAW传感器的种类概述 | 第8-10页 |
| 1.3.1 声表面波气体传感器 | 第8-9页 |
| 1.3.2 声表面波压力传感器 | 第9页 |
| 1.3.3 声表面波加速度传感器 | 第9页 |
| 1.3.4 其他类型声表面波传感器 | 第9-10页 |
| 1.4 声表面波传感器的应用背景 | 第10-11页 |
| 1.5 国内外研究现状及进展 | 第11-12页 |
| 1.6 本论文研究的主要内容 | 第12-13页 |
| 2 声表面波传感器及其检测原理简介 | 第13-24页 |
| 2.1 SAW器件的原理 | 第13页 |
| 2.2 声表面波传感器结构 | 第13-14页 |
| 2.3 SAW器件要素 | 第14-18页 |
| 2.3.1 声表面波 | 第14-15页 |
| 2.3.2 压电基底 | 第15-16页 |
| 2.3.3 叉指换能器 | 第16-18页 |
| 2.4 SAW传感器检测原理 | 第18-19页 |
| 2.5 SAW传感器检测手段 | 第19-22页 |
| 2.6 声表面波传感器电路设计方案 | 第22-24页 |
| 3 SAW传感器信号检测电路的设计 | 第24-63页 |
| 3.1 振荡电路的设计 | 第24-32页 |
| 3.1.1 振荡电路的原理 | 第24-26页 |
| 3.1.2 SAW传感器振荡电路的设计与制作 | 第26-32页 |
| 3.2 信号变送电路模块的设计 | 第32-37页 |
| 3.2.1 混频及滤波电路 | 第32-35页 |
| 3.2.2 整形电路 | 第35-37页 |
| 3.2.3 电源管理电路 | 第37页 |
| 3.3 封闭气室的设计制作 | 第37-39页 |
| 3.4 声表面波频率检测电路的设计 | 第39-49页 |
| 3.4.1 频率检测的原理 | 第39-40页 |
| 3.4.2 频率计数模块的硬件设计 | 第40-44页 |
| 3.4.3 频率计数模块的软件设计 | 第44-46页 |
| 3.4.4 计频器的调试与测试 | 第46-49页 |
| 3.5 温度控制电路的设计 | 第49-61页 |
| 3.5.1 温度控制模块的硬件设计 | 第49-53页 |
| 3.5.2 控制主程序(PID算法) | 第53-56页 |
| 3.5.3 软件部分设计 | 第56-59页 |
| 3.5.4 温控电路调试与测试 | 第59-61页 |
| 3.6 PCB板的设计与制作 | 第61-63页 |
| 4 SAW传感器信号变送电路性能测试及实验分析 | 第63-71页 |
| 4.1 SAW传感器信号检测电路性能测试及分析 | 第63-66页 |
| 4.1.1 SAW传感器信号检测电路振荡电路的测试 | 第63-64页 |
| 4.1.2 整形电路测试 | 第64-66页 |
| 4.2 SAW传感器稳定性实验 | 第66-71页 |
| 5 课题总结与展望 | 第71-72页 |
| 5.1 课题总结 | 第71页 |
| 5.2 课题的展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 附录 | 第78-79页 |
| 附录A SAW传感器信号检测电路电路图 | 第78-79页 |
| 附录B 攻读硕士学位期间申请的专利及获奖 | 第79页 |