| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第11-13页 |
| 1.2 微深内尺寸测量理论的研究现状 | 第13-22页 |
| 1.2.1 微内尺寸测量的要求 | 第13-14页 |
| 1.2.2 深内尺寸测量技术与方法国内外研究现状 | 第14-21页 |
| 1.2.3 深内尺寸测量方法总结与本课题意义 | 第21-22页 |
| 1.3 课题研究主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 双光纤耦合传感器传感特性分析与验证 | 第23-45页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 双光纤测头悬臂梁模型 | 第23-25页 |
| 2.3 微孔测量中双光纤共球耦合测头形态分析 | 第25-26页 |
| 2.4 测头触壁过程挠曲变形分析 | 第26-29页 |
| 2.5 触测力分析 | 第29-30页 |
| 2.6 探针频率分析模型建立 | 第30-31页 |
| 2.7 传感器固有频率分析 | 第31-33页 |
| 2.7.1 双光纤测头纵向固有频率 | 第31-32页 |
| 2.7.2 双光纤测头横向固有频率 | 第32-33页 |
| 2.8 双光纤共球耦合传感器频率特性仿真实验 | 第33-34页 |
| 2.9 传感器特性验证实验 | 第34-44页 |
| 2.9.1 双光纤测头制作 | 第34-41页 |
| 2.9.2 触测特性验证实验 | 第41-44页 |
| 2.10 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 双光纤耦合传感器内部光场分布分析 | 第45-60页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 单模光纤的模场 | 第45-49页 |
| 3.2.1 单模光纤的模场分析 | 第45-47页 |
| 3.2.2 单模光纤的一维模场分布 | 第47-48页 |
| 3.2.3 单模光纤的二维、三维模场分布 | 第48-49页 |
| 3.3 双光纤共球耦合场的数学模型 | 第49-50页 |
| 3.4 双光纤共球耦合内部场能分布数值仿真 | 第50-53页 |
| 3.4.1 3D-FDTD 双光纤共球耦合模型仿真 | 第50-52页 |
| 3.4.2 2D-FDTD 双光纤共球耦合光能传输效率仿真 | 第52-53页 |
| 3.5 光能耦合传输效率优化计算 | 第53-57页 |
| 3.6 光能耦合效率验证实验 | 第57-59页 |
| 3.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 出射光纤端面微结构设计 | 第60-72页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 双光纤共球耦合传感器性能制约瓶颈 | 第60-64页 |
| 4.2.1 双光纤共求耦合传感器瞄准触发原理 | 第60-61页 |
| 4.2.2 传感器采样中的延时误差 | 第61-62页 |
| 4.2.3 双光纤共球耦合传感器输出图像质量分析 | 第62-63页 |
| 4.2.4 双光纤共球耦合传感器空间分辨力分析 | 第63-64页 |
| 4.3 出射光纤端面微结构设计理论准备 | 第64-68页 |
| 4.3.1 无衍射光束——贝塞尔光束 | 第64-65页 |
| 4.3.2 贝塞尔光束的物理实现 | 第65-68页 |
| 4.4 出射光纤端面微结构仿真 | 第68-71页 |
| 4.4.1 基于 FDTD 的端面结构仿真 | 第68-69页 |
| 4.4.2 基于 Virtual Lab 的端面结构仿真 | 第69-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 新型双光纤传感器性能验证实验 | 第72-84页 |
| 5.1 引言 | 第72页 |
| 5.2 端面微结构加工 | 第72-73页 |
| 5.3 端面微结构对光束的整形效果 | 第73-79页 |
| 5.3.1 WT&T 光纤微结构测试结果 | 第73-76页 |
| 5.3.2 光束整形实验 | 第76-79页 |
| 5.4 新型双光纤共球耦合传感器实验 | 第79-83页 |
| 5.4.1 新型传感器静态输出稳定性实验 | 第79-81页 |
| 5.4.2 新型传感器分辨力实验 | 第81-83页 |
| 5.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
