| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第6-11页 |
| 1．1 引言 | 第6-8页 |
| 1．2 本研究的主要内容及意义 | 第8-11页 |
| 第2章 IGBT简介 | 第11-19页 |
| 2．1 IGBT概念的提出 | 第11-13页 |
| 2．2 IGBT工作原理 | 第13-15页 |
| 2．3 IGBT器件的特性 | 第15-18页 |
| 2．3．1 IGBT的静态特性 | 第15-16页 |
| 2．3．2 IGBT动态特性 | 第16-18页 |
| 2．4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 目前已批量生产的两类IGBT | 第19-31页 |
| 3．1 穿通型IGBT（PT-IGBT） | 第19-22页 |
| 3．2 非穿通型IGBT（NPT-IGBT） | 第22-30页 |
| 3．2．1 NPT-IGBT结构及工艺简介 | 第22-26页 |
| 3．2．2 NPT-IGBT和PT-IGBT功耗性能比较 | 第26-30页 |
| 3．3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第4章 本研究提出的新结构IGBT（LPL-IGBT） | 第31-38页 |
| 4．1 NPT-IGBT的不足之处 | 第31-32页 |
| 4．2 场中止IGBT（FSIGBT） | 第32-34页 |
| 4．3 低功耗IGBT（LPL-IGBT） | 第34-36页 |
| 4．4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第5章 LPL-IGBT的制造、测试结果及分析 | 第38-64页 |
| 5．1 LPL-IGBT仿真简介 | 第38-42页 |
| 5．2 LPL-IGBT仿真优化 | 第42-46页 |
| 5．3 LPL-IGBT的第一次流水情况介绍及测试结果 | 第46-54页 |
| 5．3．1 LPL-IGBT第一次流水的版图设计 | 第46-50页 |
| 5．3．2 第一次流水的正面结构的工艺流程 | 第50-51页 |
| 5．3．3 第一次流水的测试结果及分析 | 第51-53页 |
| 5．3．4 第一次流水的问题说明 | 第53-54页 |
| 5．4 LPL-IGBT第二次流水情况介绍及测试结果 | 第54-62页 |
| 5．4．1 第二次流水的具体情况介绍 | 第54-56页 |
| 5．4．2 第二次流水正面工艺介绍 | 第56-59页 |
| 5．4．3 第二次流水背面加工情况步骤 | 第59-60页 |
| 5．4．4 第二次流水测试结果及分析 | 第60-62页 |
| 5．5 问题说明 | 第62-63页 |
| 5．6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
