| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究成果总结 | 第8-15页 |
| 1.2.1 敏感单元的研究成果总结 | 第9-11页 |
| 1.2.2 后级检测电路的研究成果总结 | 第11-13页 |
| 1.2.3 自检测模块的研究成果总结 | 第13-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 自检测振动传感器的原理 | 第16-24页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 敏感单元的检测原理 | 第16-18页 |
| 2.3 静电力反馈与自检测原理 | 第18-20页 |
| 2.4 敏感单元离散模型 | 第20-21页 |
| 2.5 Sigma-delta调制原理 | 第21-23页 |
| 2.5.1 过采样与Sigma-delta技术 | 第21-23页 |
| 2.5.2 振动传感器中的sigma-delta技术 | 第23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 自检测振动传感器的系统级设计 | 第24-41页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 总体设计方案 | 第24-26页 |
| 3.3 振动传感器力反馈环路 | 第26-32页 |
| 3.3.1 力反馈环路的结构选取 | 第26-29页 |
| 3.3.2 系统级设计方法 | 第29-32页 |
| 3.4 检测状态控制器 | 第32页 |
| 3.5 数字谐振器 | 第32-33页 |
| 3.6 数字sigma-delta调制器 | 第33-40页 |
| 3.6.1 sigma-delta调制器的设计指标 | 第33-34页 |
| 3.6.2 数字调制器的结构选取 | 第34-37页 |
| 3.6.3 数字调制器的参数设计 | 第37-40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 系统中主要失真源的分析 | 第41-49页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 布朗噪声 | 第41页 |
| 4.3 敏感单元非线性分析 | 第41-42页 |
| 4.4 运放增益非线性 | 第42-44页 |
| 4.5 积分器建立误差 | 第44-46页 |
| 4.6 开关 | 第46-48页 |
| 4.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 系统的ASIC设计及实现 | 第49-62页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 前级电荷放大器 | 第49-53页 |
| 5.2.1 电荷放大器中的运放 | 第51-52页 |
| 5.2.2 跟随缓冲器 | 第52-53页 |
| 5.3 相位补偿器 | 第53-54页 |
| 5.4 积分器 | 第54-56页 |
| 5.5 比较器 | 第56-57页 |
| 5.6 整体电路仿真与结果分析 | 第57-59页 |
| 5.7 版图设计 | 第59-61页 |
| 5.8 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |