| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 可变焦液体透镜研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 可变焦液体透镜的发展与研究现状 | 第10-18页 |
| 1.3 本论文研究选题意义与章节分布 | 第18-20页 |
| 1.3.1 本论文研究意义 | 第18-19页 |
| 1.3.2 论文章节分布 | 第19-20页 |
| 2 平面线圈驱动可变焦液体透镜的结构设计与理论分析 | 第20-32页 |
| 2.1 透镜的结构设计与工作原理 | 第20-21页 |
| 2.1.1 透镜的结构设计 | 第20页 |
| 2.1.2 透镜的工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2 平面线圈的电磁特性分析 | 第21-28页 |
| 2.2.1 平面线圈的磁场强度的分析 | 第21-24页 |
| 2.2.2 电磁力的计算 | 第24-25页 |
| 2.2.3 驱动腔膜片的变形分析 | 第25-28页 |
| 2.3 理论数据分析与仿真 | 第28-31页 |
| 2.3.1 永磁铁到双层平面线圈距离与磁场强度的仿真 | 第28-29页 |
| 2.3.2 同层两相邻线圈间隙与磁场强度间的关系 | 第29页 |
| 2.3.3 接入电流与光学腔PDMS薄膜变形仿真 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 平面线圈驱动可变焦液体透镜的制作工艺研究 | 第32-49页 |
| 3.1 PDMS薄膜的制备工艺研究 | 第32-37页 |
| 3.1.1 PDMS的特性及工艺参数 | 第32-34页 |
| 3.1.2 PDMS的成型方法 | 第34-35页 |
| 3.1.3 PDMS薄膜的制作 | 第35-37页 |
| 3.2 SU-8 透镜主体结构的制作工艺研究 | 第37-43页 |
| 3.2.1 SU-8 光刻胶特性简介 | 第37-38页 |
| 3.2.2 SU-8 光刻胶工艺步骤及参数 | 第38-41页 |
| 3.2.3 SU-8 光刻胶结构的剥离工艺研究 | 第41-42页 |
| 3.2.4 SU-8 透镜主体结构的制作 | 第42-43页 |
| 3.3 双层平面线圈的制作工艺研究 | 第43-47页 |
| 3.3.1 光刻型聚酰亚胺树脂简介 | 第44-45页 |
| 3.3.2 双层平面螺旋线圈的制作 | 第45-47页 |
| 3.4 PMMA保护结构的制作 | 第47页 |
| 3.5 透镜各结构部件的组装 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 平面线圈驱动可变焦液体透镜的测试 | 第49-58页 |
| 4.1 光学腔薄膜形貌特征检测 | 第49-51页 |
| 4.2 透镜的实际成像效果测试 | 第51-55页 |
| 4.2.1 测试平台的搭建 | 第51-52页 |
| 4.2.2 透镜拍摄性能测试 | 第52-53页 |
| 4.2.3 透镜分辨率测试 | 第53-55页 |
| 4.3 透镜变焦能力测试与分析 | 第55-56页 |
| 4.4 透镜的动态响应特性分析 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 工作总结 | 第58-59页 |
| 5.2 工作展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及取得的研究成果致谢 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |