| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源及研究目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 课题研究内容的国内外现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国内外光刻机研究现状及分析 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内外超精密运动平台研究现状及分析 | 第13-14页 |
| 1.2.3 国内外摩擦力模型研究现状及分析 | 第14-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 精密机械平台的系统结构 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 精密平台的运动指标 | 第18-20页 |
| 2.2.1 X向运动指标及指标分解 | 第18-19页 |
| 2.2.2 Y向运动指标及指标分解 | 第19-20页 |
| 2.2.3 行程指标及指标分解 | 第20页 |
| 2.3 精密平台整体介绍及重力补偿平台的搭建 | 第20-27页 |
| 2.3.1 精密平台总体结构介绍 | 第20-22页 |
| 2.3.2 重力补偿平台元器件参数及选型 | 第22-26页 |
| 2.3.3 Y方向重力补偿部分的实物平台的搭建 | 第26-27页 |
| 2.4 精密平台的Y方向的初步控制方案及初步实验 | 第27-32页 |
| 2.4.1 Y方向运动轨迹 | 第27-28页 |
| 2.4.2 Y向控制方案及仿真 | 第28-29页 |
| 2.4.3 Y方向初步实验探究 | 第29-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 气缸模型及摩擦模型的建立与仿真 | 第33-44页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 气缸模型的建立及仿真结果 | 第33-37页 |
| 3.2.1 气缸内压控制的模型化研究 | 第33-35页 |
| 3.2.2 基于气缸模型的Matlab仿真 | 第35-37页 |
| 3.3 LuGre摩擦模型的仿真 | 第37-38页 |
| 3.4 LuGre摩擦模型中各待估参数的变化对系统的影响 | 第38-42页 |
| 3.4.1 stricbeck速度变化对系统的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.2 库伦摩擦变化对系统的影响 | 第40页 |
| 3.4.3 静摩擦变化对系统的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.4 粘滞摩擦系数变化对系统的影响 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 LuGre摩擦模型的参数辨识 | 第44-59页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 LuGre摩擦模型的参数辨识 | 第44-55页 |
| 4.2.1 基于最小二乘法的LuGre摩擦模型参数辨识 | 第44-48页 |
| 4.2.2 基于非线性最小二乘法的LuGre摩擦参数辨识 | 第48-51页 |
| 4.2.3 基于遗传算法的LuGre摩擦参数辨识 | 第51-55页 |
| 4.3 基于遗传算法的平台摩擦参数辨识 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 基于前馈控制的重力气缸摩擦力补偿 | 第59-70页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 基于Elmo驱动器的电机驱动的实验环境 | 第59-60页 |
| 5.3 基于前馈控制的摩擦力补偿实验 | 第60-68页 |
| 5.3.1 前馈控制方法的基本控制原理 | 第60-61页 |
| 5.3.2 PID控制与加速度前馈控制仿真分析 | 第61-63页 |
| 5.3.3 基于加速度前馈控制的实际系统LuGre摩擦力补偿 | 第63-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
