| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-35页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-17页 |
| 1.2 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面国内外研究现状 | 第17-22页 |
| 1.2.1 仿壁虎脚掌微阵列接触面的国内外研究现状 | 第17-21页 |
| 1.2.2 摩擦式晶圆传输微阵列接触面的国内外研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3 柔性动态接触建模的国内外研究现状 | 第22-28页 |
| 1.4 接触面粘滑传感器的国内外研究现状 | 第28-33页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第2章 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面研究 | 第35-60页 |
| 2.1 引言 | 第35页 |
| 2.2 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面接触建模与分析 | 第35-41页 |
| 2.2.1 弹性粘着接触理论 | 第35-37页 |
| 2.2.2 微米级垂直阵列接触面的摩擦与粘附特性分析 | 第37-39页 |
| 2.2.3 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面摩擦与粘附模型 | 第39-41页 |
| 2.3 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面结构设计约束条件 | 第41-48页 |
| 2.4 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面结构设计 | 第48-55页 |
| 2.4.1 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面材料特性参数 | 第49-51页 |
| 2.4.2 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面载荷参数 | 第51-53页 |
| 2.4.3 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面尺寸参数设计 | 第53-55页 |
| 2.5 面向摩擦式晶圆传输的微阵列接触面制备及末端执行器 | 第55-59页 |
| 2.5.1 面向摩擦式晶圆传输的微阵列接触面制备 | 第55-58页 |
| 2.5.2 基于微阵列接触面的摩擦传输式末端执行器 | 第58-59页 |
| 2.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 柔性动态接触模型及其实验研究 | 第60-82页 |
| 3.1 引言 | 第60页 |
| 3.2 基于Lu Gre模型和梁-弹簧网络模型的柔性动态接触模型 | 第60-65页 |
| 3.3 基于Lu Gre模型和单一悬臂梁的柔性动态接触模型 | 第65-69页 |
| 3.4 基于柔性动态接触模型的柔性动态接触过程仿真算法设计 | 第69-72页 |
| 3.5 柔性动态接触模型实验研究 | 第72-81页 |
| 3.5.1 柔性动态接触模型实验系统 | 第72-74页 |
| 3.5.2 柔性接触区域正压力分布实验 | 第74-75页 |
| 3.5.3 柔性动态接触模型实验与结果分析 | 第75-81页 |
| 3.6 本章小结 | 第81-82页 |
| 第4章 摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器研究 | 第82-100页 |
| 4.1 引言 | 第82页 |
| 4.2 基于电磁感应的柔性接触面粘滑传感器原理 | 第82-87页 |
| 4.3 面向摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器本体设计 | 第87-95页 |
| 4.3.1 圆柱形永磁铁磁场强度分布建模 | 第87-90页 |
| 4.3.2 圆柱形永磁铁和线圈阵列的尺寸参数设计 | 第90-92页 |
| 4.3.3 接触面粘滑传感器弹性体结构设计 | 第92-95页 |
| 4.4 面向摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器样机与信号调理 | 第95-97页 |
| 4.4.1 面向摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器样机制作 | 第95页 |
| 4.4.2 面向摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器信号调理 | 第95-97页 |
| 4.5 基于接触面粘滑传感器的摩擦传输式末端执行器 | 第97-99页 |
| 4.6 本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 摩擦式晶圆传输的微阵列接触面与粘滑传感器实验研究 | 第100-120页 |
| 5.1 引言 | 第100页 |
| 5.2 面向摩擦式晶圆传输的微阵列接触面实验研究 | 第100-108页 |
| 5.2.1 微阵列接触面实验样品制备 | 第100-101页 |
| 5.2.2 微阵列接触面的摩擦和脱附特性实验研究 | 第101-105页 |
| 5.2.3 基于微阵列接触面凸点的大尺寸晶圆传输实验 | 第105-108页 |
| 5.3 面向摩擦式晶圆传输的接触面粘滑传感器实验研究 | 第108-118页 |
| 5.3.1 接触面粘滑传感器标定实验研究 | 第108-111页 |
| 5.3.2 接触面粘滑传感器粘滑检测实验研究 | 第111-115页 |
| 5.3.3 基于接触面粘滑传感器的晶圆传输实验研究 | 第115-118页 |
| 5.4 本章小结 | 第118-120页 |
| 结论 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-134页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第134-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 个人简历 | 第138页 |
