| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 大口径凸非球面检测的国内外研究现状 | 第14-25页 |
| 1.2.1 Hindle检验法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 补偿法 | 第15-16页 |
| 1.2.3 计算全息法 | 第16-19页 |
| 1.2.4 子孔径拼接法 | 第19-25页 |
| 1.3 本领域存在的问题 | 第25-26页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 基于奇偶合成的Fizeau干涉仪参考波前校正 | 第28-47页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 基于三位置法的干涉仪参考波前校正 | 第28-38页 |
| 2.2.1 Twyman-Green干涉仪的校正 | 第29-31页 |
| 2.2.2 Fizeau干涉仪的校正 | 第31-33页 |
| 2.2.3 被测面位置失调的影响分析 | 第33-38页 |
| 2.3 基于奇偶合成的参考波前校正 | 第38-41页 |
| 2.4 对比实验验证 | 第41-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 子孔径非球面波前的波像差校正 | 第47-69页 |
| 3.1 引言 | 第47-48页 |
| 3.2 非零位检测非球面中的映射误差校正 | 第48-56页 |
| 3.2.1 非球面的非零位检测 | 第48-52页 |
| 3.2.2 映射误差的产生与影响 | 第52-54页 |
| 3.2.3 映射误差校正模型 | 第54-56页 |
| 3.3 非球面拼接测量中的对准误差校正 | 第56-67页 |
| 3.3.1 对准误差的影响分析 | 第57-59页 |
| 3.3.2 对准误差模型的建立 | 第59-63页 |
| 3.3.3 对准误差校正实验 | 第63-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第4章 全口径非球面波前的同步拼接合成 | 第69-95页 |
| 4.1 引言 | 第69页 |
| 4.2 子孔径干涉图的预处理 | 第69-78页 |
| 4.2.1 波前拟合 | 第70-74页 |
| 4.2.2 高频噪声的抑制 | 第74-78页 |
| 4.3 基于约束优化的非球面同步拼接检测 | 第78-91页 |
| 4.3.1 子孔径的划分与空间位置变换 | 第78-81页 |
| 4.3.2 子孔径的数据点配准 | 第81-84页 |
| 4.3.3 同步拼接算法 | 第84-91页 |
| 4.4 长平晶同步拼接测量实验 | 第91-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第95-113页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 球面拼接测量实验验证 | 第95-98页 |
| 5.3 Φ150mm凹非球面拼接测量实验 | 第98-106页 |
| 5.4 Φ200mm凸非球面拼接测量实验 | 第106-112页 |
| 5.5 本章小结 | 第112-113页 |
| 结论 | 第113-116页 |
| 参考文献 | 第116-125页 |
| 附录1 Zygo球面标准镜校准结果 | 第125-126页 |
| 附录2 中国计量科学研究院校准证书——长平晶 | 第126-127页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其他成果 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 个人简历 | 第130页 |