基于AAO模板的氧化锌气体传感器孔径和氧化锌厚度效应研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 研究内容与结构安排 | 第12-14页 |
| 1.3.1 课题研究主要内容 | 第12页 |
| 1.3.2 结构安排 | 第12-14页 |
| 第2章 氧化锌气体传感器简介 | 第14-21页 |
| 2.1 气体传感器分类 | 第14-17页 |
| 2.1.1 催化燃烧式气体传感器 | 第14页 |
| 2.1.2 光学气体传感器 | 第14-15页 |
| 2.1.3 电化学气体传感器 | 第15-16页 |
| 2.1.4 半导体气体传感器 | 第16-17页 |
| 2.2 性能衡量指标 | 第17-18页 |
| 2.2.1 灵敏度 | 第17页 |
| 2.2.2 选择性 | 第17-18页 |
| 2.2.3 稳定性 | 第18页 |
| 2.2.4 反应时间 | 第18页 |
| 2.3 影响金属氧化物半导体气体传感器的因素 | 第18-19页 |
| 2.4 氧化锌气体传感器性能的改进 | 第19-20页 |
| 2.5 纳米氧化锌简介 | 第20-21页 |
| 第3章 氧化锌气体传感器相关原理 | 第21-34页 |
| 3.1 氧化锌气体传感器制备方法 | 第21-22页 |
| 3.1.1 气相法 | 第21页 |
| 3.1.2 水热合成法 | 第21页 |
| 3.1.3 溶解-凝胶法 | 第21-22页 |
| 3.1.4 模板法 | 第22页 |
| 3.2 AAO模板法制备纳米氧化锌 | 第22-23页 |
| 3.3 气敏原理 | 第23-28页 |
| 3.4 仿真原理 | 第28-29页 |
| 3.4.1 TCAD介绍 | 第28页 |
| 3.4.2 陷阱模型 | 第28-29页 |
| 3.5 仿真物理模型 | 第29-34页 |
| 3.5.1 SRH激发复合模型 | 第29-30页 |
| 3.5.2 迁移率模型 | 第30-32页 |
| 3.5.3 碰撞电离模型 | 第32页 |
| 3.5.4 物理边界模型 | 第32-34页 |
| 第4章 实验数据与分析 | 第34-50页 |
| 4.1 孔径效应 | 第34-44页 |
| 4.1.1 仿真结构构建 | 第34-37页 |
| 4.1.2 仿真数据 | 第37-40页 |
| 4.1.3 结果分析 | 第40-44页 |
| 4.2 氧化锌厚度效应 | 第44-49页 |
| 4.2.1 仿真数据 | 第44-46页 |
| 4.2.2 结果分析 | 第46-49页 |
| 4.3 实验结果 | 第49-50页 |
| 第5章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第56页 |
