| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 引言 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 MEMS加速度传感器 | 第9页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第9-12页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS加速度传感器信号处理电路工作原理 | 第13-17页 |
| 2.1 MEMS加速度传感器原理 | 第13页 |
| 2.2 MEMS加速度传感器电容检测原理 | 第13-15页 |
| 2.3 MEMS微弱电容检测读出电路 | 第15-16页 |
| 2.4 MEMS加速度传感器工作模式 | 第16页 |
| 2.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 MEMS传感器信号处理电路设计 | 第17-49页 |
| 3.1 MEMS传感器信号处理电路系统结构及设计要求 | 第17-18页 |
| 3.2 系统时序设计 | 第18-21页 |
| 3.3 全差分开关电容电路设计与分析 | 第21-36页 |
| 3.3.1 全差分开关电容电路基本原理 | 第21-23页 |
| 3.3.2 失调消除技术 | 第23-24页 |
| 3.3.3 开关的设计与优化 | 第24-26页 |
| 3.3.4 全差分运放设计 | 第26-33页 |
| 3.3.5 全差分开关电容电路仿真 | 第33-35页 |
| 3.3.6 相关双采样技术仿真验证 | 第35-36页 |
| 3.4 仪表放大器的设计与分析 | 第36-47页 |
| 3.4.1 单位增益缓冲器的设计与分析 | 第39-43页 |
| 3.4.2 减法器的设计与分析 | 第43-47页 |
| 3.5 整体仿真 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 ESD全芯片防护设计与芯片版图设计 | 第49-58页 |
| 4.1 ESD防护设计 | 第49-54页 |
| 4.1.1 ESD防护基本原理 | 第50-51页 |
| 4.1.2 GGNMOS防护基本原理 | 第51-52页 |
| 4.1.3 ESD全芯片防护设计 | 第52-54页 |
| 4.2 芯片版图设计及后仿真 | 第54-56页 |
| 4.3 芯片概貌图 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 结论与展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
| 在校期间发表的学术论文及研究成果 | 第65页 |