| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 生物传感器的发展历程 | 第11-12页 |
| 1.3 TFT生物传感器简介 | 第12-15页 |
| 1.3.1 TFT的结构及工作原理 | 第13-14页 |
| 1.3.2 TFT生物传感器的工作原理 | 第14-15页 |
| 1.4 氧化物TFT生物传感器 | 第15-19页 |
| 1.4.1 氧化物TFT的电子传输机理 | 第15-16页 |
| 1.4.2 IGZO-TFT的电学优点 | 第16-18页 |
| 1.4.3 氧化物TFT生物传感器的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.5 IgG简介 | 第19-21页 |
| 1.6 本论文的选题依据 | 第21页 |
| 1.7 论文的主要内容及章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 IGZO-TFT生物传感器的制备及测试技术 | 第23-35页 |
| 2.1 磁控溅射镀膜系统 | 第23-25页 |
| 2.2 电子束蒸发镀膜系统 | 第25-27页 |
| 2.3 退火炉 | 第27-28页 |
| 2.4 生物荧光显微镜 | 第28-29页 |
| 2.5 原子力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.6 等离子体增强化学气相沉积镀膜系统 | 第30-31页 |
| 2.7 光谱型椭圆偏振仪 | 第31-33页 |
| 2.8 半导体参数分析仪 | 第33-35页 |
| 第三章 分离式双栅IGZO-TFT生物传感器的制备及其性能的研究 | 第35-50页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 双栅IGZO-TFT的制备及其性能的研究 | 第35-42页 |
| 3.2.1 双栅IGZO-TFT的制备 | 第35-39页 |
| 3.2.2 双栅IGZO-TFT性能的研究 | 第39-42页 |
| 3.3 探测区域羊抗小鼠IgG生物分子膜的修饰与表征 | 第42-44页 |
| 3.3.1 羊抗小鼠IgG生物分子膜的修饰 | 第42-43页 |
| 3.3.2 羊抗小鼠IgG生物分子膜的表征 | 第43-44页 |
| 3.4 双栅IGZO-TFT生物传感器性能的研究 | 第44-46页 |
| 3.5 分离式双栅IGZO-TFT生物传感器的构筑及其性能的研究 | 第46-49页 |
| 3.5.1 分离式双栅IGZO-TFT生物传感器的设计 | 第46页 |
| 3.5.2 分离式双栅IGZO-TFT生物传感器的制备 | 第46-47页 |
| 3.5.3 分离式双栅IGZO-TFT生物传感器的性能测试 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 分离式双电层IGZO-TFT生物传感器的制备及其性能的研究 | 第50-64页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 双电层IGZO-TFT的制备及其性能的研究 | 第50-56页 |
| 4.2.1 双电层IGZO-TFT的制备 | 第50-53页 |
| 4.2.2 双电层IGZO-TFT性能的研究 | 第53-56页 |
| 4.3 探测区域兔IgG生物分子膜的修饰 | 第56-59页 |
| 4.3.1 兔IgG生物分子膜的修饰流程 | 第56-57页 |
| 4.3.2 兔IgG生物分子膜的表征 | 第57-59页 |
| 4.4 分离式双电层IGZO-TFT生物传感器的构筑及其性能的研究 | 第59-63页 |
| 4.4.1 分离式双电层IGZO-TFT生物传感器的构筑 | 第59-60页 |
| 4.4.2 分离式双电层IGZO-TFT生物传感器性能的研究 | 第60-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 结论 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 作者简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
