| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| ·纤维增韧陶瓷基复合材料 | 第13页 |
| ·Si-B-C-N系材料及其应用 | 第13-18页 |
| ·Si-C材料 | 第13-14页 |
| ·Si-B材料 | 第14-15页 |
| ·Si-N材料 | 第15-16页 |
| ·B-C材料 | 第16页 |
| ·B-N材料 | 第16-17页 |
| ·C-N材料 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积(CVD)方法 | 第18页 |
| ·量子化学方法研究CVD反应机理 | 第18-19页 |
| ·选题依据和研究目标 | 第19-20页 |
| ·研究内容和技术路线 | 第20-23页 |
| ·研究内容 | 第20页 |
| ·技术路线 | 第20-23页 |
| 第2章 理论方法和计算方法 | 第23-37页 |
| ·密度泛函理论 | 第23-26页 |
| ·时间相关的密度泛函理论 | 第26-28页 |
| ·电子相关能 | 第28-29页 |
| ·G3MP2理论和G3/B3LYP理论 | 第29-31页 |
| ·气相产物热力学计算方法 | 第31-35页 |
| ·配分函数 | 第31-32页 |
| ·热熔和熵 | 第32-34页 |
| ·标准生成焓和标准生成吉布斯自由能 | 第34-35页 |
| ·相关产物平衡浓度算法 | 第35-37页 |
| 第3章 二元陶瓷CVD过程产物热力学数据与平衡浓度分布 | 第37-117页 |
| ·BCl_3–NH_3–H_2体系 | 第37-61页 |
| ·气相产物的热力学数据 | 第37-55页 |
| ·典型工艺参数下的平衡浓度分布 | 第55-59页 |
| ·固定压力下固相产物生成量与温度和进气比的关系 | 第59-61页 |
| ·SiCl_4–NH_3–H_2体系 | 第61-89页 |
| ·气相产物的热力学数据 | 第61-84页 |
| ·典型工艺参数下的平衡浓度分布 | 第84-87页 |
| ·固定压力下固相产物生成量与温度和进气比的关系 | 第87-89页 |
| ·SiCl_4–BCl_3–H_2体系 | 第89-116页 |
| ·气相产物的热力学数据 | 第89-111页 |
| ·典型工艺参数下的平衡浓度分布 | 第111-114页 |
| ·固定压力下固相产物生成量与温度和进气比的关系 | 第114-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第4章 三元陶瓷CVD过程产物浓度分布与工艺参数的关系 | 第117-145页 |
| ·气相产物的热力学数据 | 第117-137页 |
| ·分子结构 | 第117-119页 |
| ·振动频率 | 第119-125页 |
| ·电子激发能 | 第125-127页 |
| ·热熔和熵 | 第127-132页 |
| ·分子能量 | 第132-134页 |
| ·标准生成焓和标准生成吉布斯自由能 | 第134-137页 |
| ·典型工艺参数下的平衡浓度分布 | 第137-140页 |
| ·固定压力下固相产物生成量与温度和进气比的关系 | 第140-142页 |
| ·本章小结 | 第142-145页 |
| 第5章 Si-B-C-N-H-Cl体系CVD过程产物浓度分布与工艺参数的关系 | 第145-159页 |
| ·典型工艺参数下的平衡浓度分布 | 第145-147页 |
| ·固相产物生成量与工艺参数的关系 | 第147-156页 |
| ·固相产物生成量与温度和进气比MTS/(MTS+NH_3)的关系 | 第147-150页 |
| ·固相产物生成量与温度和进气比MTS/(MTS+ BCl_3)的关系 | 第150-153页 |
| ·固相产物生成量与温度和进气比BCl_3/( BCl_3+NH_3)的关系 | 第153-156页 |
| ·本章小结 | 第156-159页 |
| 第6章 化学气相沉积Si-B-C-N陶瓷的实验验证 | 第159-177页 |
| ·BCl_3–NH_3–H_2体系 | 第159-164页 |
| ·热力学计算结果分析 | 第159-161页 |
| ·化学气相沉积BN陶瓷的相关实验结果 | 第161-164页 |
| ·SiCl_4–NH_3–H_2体系 | 第164-167页 |
| ·热力学计算结果分析 | 第164页 |
| ·化学气相沉积Si3N4陶瓷的相关实验结果 | 第164-167页 |
| ·SiCl_3CH_3–NH_3–H_2体系 | 第167-171页 |
| ·热力学计算结果分析 | 第167-168页 |
| ·化学气相沉积SiCN陶瓷的相关实验结果 | 第168-171页 |
| ·SiCl_3CH_3–BCl_3–NH_3–H_2体系 | 第171-175页 |
| ·热力学计算结果分析 | 第171页 |
| ·化学气相沉积SiBCN陶瓷的相关实验结果 | 第171-175页 |
| ·CVD法制备SiBCN陶瓷的热力学计算和实验结果对比 | 第175页 |
| ·本章小结 | 第175-177页 |
| 结论 | 第177-179页 |
| 参考文献 | 第179-190页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第190-191页 |
| 致谢 | 第191-193页 |
