| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-30页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状与发展趋势 | 第12-28页 |
| ·氢气传感器研究现状 | 第12-20页 |
| ·飞秒激光加工研究现状 | 第20-26页 |
| ·镀膜方法研究现状 | 第26-28页 |
| ·本文主要研究内容及结构安排 | 第28-30页 |
| 第2章 微型光纤氢气传感器系统 | 第30-45页 |
| ·系统总体架构 | 第30-31页 |
| ·飞秒激光微加工系统 | 第31-39页 |
| ·飞秒激光微加工系统构成 | 第31-33页 |
| ·飞秒激光微加工工艺研究 | 第33-39页 |
| ·磁控溅射镀膜系统 | 第39-42页 |
| ·光纤氢气检测系统 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 微型Mach-Zehnder干涉型光纤氢气传感器 | 第45-74页 |
| ·基本原理 | 第45-48页 |
| ·模拟分析 | 第48-54页 |
| ·模拟微型Mach-Zehnder干涉型光纤氢气传感器腔长变化 | 第48-52页 |
| ·模拟微型Mach-Zehnder干涉型光纤氢气传感器Pd膜厚度变化 | 第52-54页 |
| ·实验制备 | 第54-55页 |
| ·实验分析 | 第55-63页 |
| ·微型Mach-Zehnder干涉型光纤氢气传感器腔长变化的氢气实验 | 第56-60页 |
| ·微型Mach-Zehnder干涉型光纤氢气传感器Pd膜厚度变化的氢气实验 | 第60-63页 |
| ·温度实验 | 第63-65页 |
| ·Mach-Zehnder和光纤布喇格光栅同时测量氢气及温度 | 第65-73页 |
| ·基本原理 | 第65-67页 |
| ·实验分析 | 第67-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第4章 微型Fabry-Perot干涉型光纤氢气传感器 | 第74-92页 |
| ·基本原理 | 第74-78页 |
| ·模拟分析 | 第78-84页 |
| ·模拟微型Fabry-Perot干涉型光纤氢气传感器腔长变化 | 第80-82页 |
| ·模拟微型Fabry-Perot干涉型光纤氢气传感器Pd膜厚度变化 | 第82-84页 |
| ·实验制备 | 第84-87页 |
| ·实验分析 | 第87-89页 |
| ·温度实验 | 第89-90页 |
| ·本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 微型Michelson干涉型光纤氢气传感器 | 第92-104页 |
| ·基本原理 | 第92-95页 |
| ·模拟分析 | 第95-98页 |
| ·实验制备 | 第98-100页 |
| ·实验分析 | 第100-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第6章 总结与展望 | 第104-107页 |
| ·本文工作总结和创新点 | 第104-105页 |
| ·本文研究展望 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第119-120页 |
