| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·多层膜的力学特性 | 第18-20页 |
| ·超模效应 | 第19页 |
| ·超硬效应 | 第19-20页 |
| ·耐磨性 | 第20页 |
| ·多层膜的强化机制 | 第20-22页 |
| ·多层膜的材料体系 | 第22-25页 |
| ·金属/金属多层膜 | 第22-23页 |
| ·金属/陶瓷多层膜 | 第23页 |
| ·陶瓷/陶瓷多层膜 | 第23-25页 |
| ·氮化物/金属多层膜 | 第25-27页 |
| ·氮化钛/金属多层膜 | 第25-26页 |
| ·氮化钛铝/金属多层膜 | 第26-27页 |
| ·含钽薄膜的研究进展 | 第27-28页 |
| ·本文的研究内容 | 第28-31页 |
| 第二章 多层膜的制备及性能表征方法与仪器设备 | 第31-42页 |
| ·离子束辅助沉积 | 第31-33页 |
| ·离子束辅助沉积原理 | 第31-32页 |
| ·离子束辅助沉积设备及工艺 | 第32-33页 |
| ·多弧离子镀 | 第33-36页 |
| ·多弧离子镀的原理 | 第33-35页 |
| ·多弧离子镀的特点 | 第35页 |
| ·主要工艺参数 | 第35-36页 |
| ·磁控溅射 | 第36-37页 |
| ·磁控溅射的原理 | 第36-37页 |
| ·磁控溅射的工艺参数 | 第37页 |
| ·氮化物/钽多层膜的制备 | 第37-39页 |
| ·基体及靶材 | 第37-38页 |
| ·制备工艺 | 第38-39页 |
| ·多层膜的性能表征方法 | 第39-42页 |
| ·成分及结构分析仪器与方法 | 第40-41页 |
| ·力学性能测试仪器与方法 | 第41页 |
| ·其他测试 | 第41-42页 |
| 第三章 TiN/Ta 多层膜的制备及性能 | 第42-60页 |
| ·TiN/Ta 多层膜的制备工艺 | 第42-43页 |
| ·TiN/Ta 多层膜调制结构的优化 | 第43-46页 |
| ·调制周期的优化 | 第43-44页 |
| ·调制比的优化 | 第44-46页 |
| ·TiN/Ta 多层膜的其他力学性能 | 第46-49页 |
| ·膜/基结合力 | 第46-48页 |
| ·断裂韧性 | 第48页 |
| ·残余应力 | 第48-49页 |
| ·TiN/Ta 多层膜的成分及结构 | 第49-53页 |
| ·俄歇电子能谱分析 | 第49-51页 |
| ·透射电镜分析 | 第51-52页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第52-53页 |
| ·TiN/Ta 多层膜的热稳定性 | 第53-55页 |
| ·TiN/Ta 多层膜的强化机制 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 TiAlN/Ta 多层膜的制备及性能 | 第60-72页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜的制备工艺 | 第60-61页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜的力学性能 | 第61-63页 |
| ·纳米硬度 | 第61-62页 |
| ·弹性模量 | 第62页 |
| ·膜/基结合力 | 第62-63页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜的成分及结构 | 第63-65页 |
| ·聚焦离子束-扫描电子显微镜分析 | 第63-64页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第64-65页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜的热稳定性 | 第65-71页 |
| ·DSC/TG 分析 | 第65-66页 |
| ·不同温度下的热稳定性 | 第66-68页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜热稳定性提高的机理分析 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 多弧与磁控溅射复合薄膜沉积设备的研制 | 第72-83页 |
| ·结构及特点 | 第72-73页 |
| ·真空系统 | 第73-75页 |
| ·沉积系统 | 第75-79页 |
| ·弧源及磁控靶 | 第75-76页 |
| ·专用样品架 | 第76-79页 |
| ·控制系统 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第六章 TiAlN/Ta 多层膜涂层刀具的生产工艺及性能 | 第83-92页 |
| ·TiAlN 薄膜沉积工艺的优化 | 第83-87页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜涂层刀具的沉积工艺 | 第87-88页 |
| ·TiAlN/Ta 刀具涂层的结构 | 第88-90页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第88-89页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第89-90页 |
| ·TiAlN/Ta 刀具涂层的力学性能 | 第90-91页 |
| ·纳米硬度 | 第90页 |
| ·膜/基结合力 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第七章 TiAlN/Ta 多层膜涂层刀具的切削性能 | 第92-107页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜涂层刀具的三向力测试与分析 | 第92-98页 |
| ·三向力测量方法 | 第92-93页 |
| ·CNMG120408 涂层刀具的三向力分析 | 第93-95页 |
| ·DCGT11T304 涂层刀具的三向力分析 | 第95-98页 |
| ·TiAlN/Ta 多层膜涂层刀具的切削性能 | 第98-106页 |
| ·切削实验条件 | 第98-99页 |
| ·粗车 1Cr18Ni9Ti | 第99-100页 |
| ·粗车 20CrNiMo | 第100-101页 |
| ·粗车调质 45 钢 | 第101-102页 |
| ·精车调质 45 钢 | 第102-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第八章 涂层表面状态对切削性能的影响 | 第107-119页 |
| ·涂层表面的“大颗粒”及其对切削性能的影响 | 第107-114页 |
| ·涂层表面织构及其对切削性能的影响 | 第114-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第九章 结论及展望 | 第119-122页 |
| ·本文的主要结论 | 第119-120页 |
| ·本文的创新点 | 第120页 |
| ·展望 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 附录 | 第133页 |
