面向IC装备设计的电磁场有限元法研究与实现

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·IC装备制造业背景	第8-9页
·国内外研究现状	第9-13页
·IC工艺装备中的电磁仿真	第9-11页
·电磁场棱边单元法及其规范问题	第11-13页
·本文的主要工作及内容安排	第13-15页
2 电磁场棱边单元法	第15-29页
·A-V形式的电磁场方程	第15-19页
·控制方程	第15-18页
·边界条件	第18-19页
·棱边单元法的实施和求解	第19-29页
·电磁场单元形函数	第19-23页
·基于伽辽金法的有限元方程	第23-27页
·Newmark法求解时域电磁场方程组	第27-29页
3 棱边单元法的规范问题	第29-44页
·规范问题的讨论	第29-36页
·磁矢势的不唯一性	第29-30页
·树-余树规范方法	第30-36页
·拉格朗日乘子规范方法	第36-44页
·拉格朗日乘子法规范的有限元方程	第37-39页
·数值算例	第39-44页
4 程序实现及算例	第44-55页
·程序实现流程图	第44-49页
·输入文件格式说明	第44-47页
·流程图	第47-49页
·IC装备中的电磁场计算	第49-55页
·空载CCP放电腔室的静电场计算	第49-50页
·空载磁多极约束等离子体系统的静磁场计算	第50-52页
·ICP放电腔室的谐态场计算	第52-55页
结论	第55-56页
参考文献	第56-58页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第58-59页
致谢	第59-60页